激光激发等离子光源LDLS白光光源 高亮度、宽波长范围、微小发射点、长寿命、高稳定性

2023-11-13 15:02:32 admin

激光激发等离子光源LDLS白光光源 高亮度、宽波长范围、微小发射点、长寿命、高稳定性


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激光激发等离子光源 LDLS™ 白光源 产品概述

激光激发等离子体光源LDLS白光源(Energetiq,A HAMAMATSU公司制造)是一种传统的激光激发等离子体光源,结合了高亮度的特点,光波长范围从紫外DUV到近红外NIR,微小点发射率高、寿命长、稳定性高,是理想的白光光源。
LDLS是Laser-Driven Light Source的缩写,采用独特的照明方式,利用激光来维持放电电极产生的电弧放电,尺寸小(φ0.1mm)并发光。同时,它具有从紫外到近红外极宽的发射波长范围,特别是在DUV区域,可以提供比氘灯强得多的光强度和无发射线的发射光谱。此外,不存在电极磨损,从而使灯的使用寿命比传统灯长得多。它是一种理想的光源,几乎没有一般放电灯所见的发光点波动,并且发光强度具有优异的稳定性。

拥有支持先进技术的专利

作为本产品基本原理的激光激发技术是EQ拥有的专利技术。相关专利号如下。

(美国7435982、7786455、8525138、8969841、9048000、9185786;日本5410958、5628253;韩国10-1507617;英国GB2450045。)
有关更详细的信息,请参阅以下网站。
https://www.energetiq.com/patents

独特的照明方法(激光激发等离子体光源)

这是一种独特的照明方法,将激光聚焦在充满氙气的灯泡内的放电电极之间产生的放电上,直接加热并维持等离子体。

LDLS照明原理

高亮度点发光(发光点尺寸φ0.1mm~)

发光点小,可以高亮度、高效率地照射微小光斑(高效注入光谱仪或单模光纤)。

LDLS与普通灯光源对比

LDLS光源的发光点尺寸小至Φ0.1mm
发出的光比传统灯光源的亮度更高。

从紫外线 (DUV) 到近红外线 (NIR) 的宽波长范围

它具有从170nm到2100nm的宽波长范围,并且具有高光强度且无发射线的发射光谱,特别是在紫外(DUV)区域。

LDLS的发射光谱

长寿命9000小时以上(典型值)

由于它是激光激发的等离子体,因此除非放电开始,否则不使用电极。
电极磨损更少,寿命比传统氙气灯长很多
(灯寿命是典型值,不是制造商的保证)。

LDLS 的寿命

高光强稳定性(发光点位置稳定±0.4μm)

由于发光部分是激光焦点,所以发光部分的波动显着减小。中心光斑的稳定性在±0.4μm以内。

右图:
测量条件:使用200帧/秒的相机测量发光部分最亮中心点的2500张图像。

LDLS发光点波动

激光激发等离子光源 LDLS™ 白光源阵容

EQ-99X扩散照射规格
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  • 输出方式:扩散照射(输出窗尺寸φ22mm)

  • 扩散角:NA0.47,约62度

  • 发光光斑尺寸:65 x 150μm(典型值)

  • 冷却方式:自然风冷(灯头)

  • 推荐氮气吹扫:6 级,供给压力 20psig (0.14MPa)

  • 控制器选择:普通/管理控制器

  • 可选窗口:MgF2、BK7、LongPass190nm

  • 选项: 快门装置

EQ-99XFC纤维辐照规格
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  • 输出方式:光纤照射

  • 连接光纤类型:UV规格、BB规格(选配)

  • 连接纤芯直径:推荐115-600μm

  • 发光光斑尺寸:65 x 150μm(典型值)

  • 冷却方式:自然风冷(灯头)

  • 推荐氮气吹扫:6 级,供给压力 20psig (0.14MPa)

  • 控制器选择:普通/管理控制器

  • 选项:光纤准直器等

EQ-9 扩散照射规格(OEM型)
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  • 输出方式:扩散照射(单光束)
    (如果订购时指定,则可提供双光束)

  • 扩散角:NA0.56

  • 发光点尺寸:78 x 203μm(典型值)

  • 冷却方式:强制风冷(30CFM)

  • 氮气吹扫:6级,供给压力20psig(0.14MPa)

EQ-77 高功率扩散照射规格(约 EQ-99 的 6 倍)
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  • 输出方式:扩散照射(单光束)
    (如果订购时指定,则可提供双光束)

  • 扩散角:NA0.50

  • 发光光斑尺寸:126 x 318μm(典型值)

  • 冷却方式:水冷

  • 氮气吹扫:6级,供给压力20psig(0.14MPa)

  • 选项:冷却器套件 (EQ-77-CHILLER-KIT)

新产品:激光激发等离子体光源EQ-77C系列
使用白光源提高实验性能!
减少合并各种设备时的对准调整频率!
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  • ■支持不同的宽波长范围!
    型号:EQ-77C-钻石 (350nm~20μm)
    型号:EQ-77C-蓝宝石 (160nm~6μm)

  • ■新型LDLS白光源,支持160nm至20μm更宽的波长范围

  • 激光激发等离子体光源LDLS白光源是一种前所未有的、理想的白灯光源,具有高亮度、光波长范围从紫外DUV到近红外NIR、微小点发射、长寿命和稳定性等特点。 。
    全新EQ-77C系列是最新的激光激发等离子光源,支持高达160nm至20μm的宽波长范围。

  • ■高亮度

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EQ-400 超高亮度扩散照射规格(第5代LDLS史上最高输出)
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  • 输出方式:扩散照射(单光束)
    (如果订购时指定,则可提供双光束)

  • 扩散角:NA0.50

  • 发光光斑尺寸:372 x 807μm(典型值)

  • 冷却方式:水冷

  • 氮气吹扫:6级,供给压力20psig(0.14MPa)

  • 选项:冷却器套件 (EQ-77-CHILLER-KIT)


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