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HORIBA堀场碳传感器电导仪低浓度型HE-480C-GC

HORIBA堀场碳传感器电导仪低浓度型HE-480C-GC随着器件的发展,在半导体制造工艺的湿法工艺中使用的化学品种类也在不断增加。HE-480C-GC使用耐化学性高的传感器测量化学物质的电导率,是过程中浓度控制、化学物质稀释控制和超纯水循环监测的理想选择。特征:优异的耐化学性和耐压性能采用耐高压、高耐化学性的特殊电极,非常适合测量化学处理后的DIW Rince的电导率值和在循环管线上测量。由于无

  • 型号: HE-480C-GC

HORIBA堀场碳传感器电导仪低浓度型HE-480C-GC

随着器件的发展,在半导体制造工艺的湿法工艺中使用的化学品种类也在不断增加。HE-480C-GC使用耐化学性高的传感器测量化学物质的电导率,是过程中浓度控制、化学物质稀释控制和超纯水循环监测的理想选择。


特征:

优异的耐化学性和耐压性能

采用耐高压、高耐化学性的特殊电极,非常适合测量化学处理后的DIW Rince的电导率值和在循环管线上测量。

由于无金属污染

电极材料使用特殊碳,因此无需担心金属污染洗脱。

温度测量/显示功能

使用温度补偿元件Pt1000Ω。可以进行温度测量和显示。

同时显示测量值和参数设置

值 即使在设置或调用设置值时也可以检查测量值。

内置丰富的温度补偿功能

由于可以选择超纯水的温度特性(参考温度25°C)、NaCl温度特性、参考温度和温度补偿系数,可以根据测量液体进行温度补偿。

图标状态显示增强,安全功能

仪器状态由图标显示。易于理解的显示可防止操作错误。此外,所有按键操作均通过设置安全码锁定,防止因故障导致测量错误。

符合 RoHS 指令


规格:指令转换器

格式HE-480C-GC

测量方法2电极法

传感器输入1个频道

温度传感器规格铂电阻1000Ω/0℃

重复性* 1 ± 0.5% 全量程内

* 2 ± 1.0% 全量程内

* 3 ± 1.5% 全量程内

(等效输入)

直线度* 1 ± 0.5% 全量程内

* 2 ± 1.0% 全量程内

* 3 ± 1.5% 全量程内

(等效输入)

 

传输输出输出点数:1点

DC4~20mA 输入/输出绝缘型 最大负载电阻:900Ω

传输输出范围:测量范围内任意设定

接点输出输出点数:2点

报警接点输出(R1、R2)

 接点类型:继电器接点SPDT(1c)

 接点容量:AC240V 3A、DC 30V 3A(阻性负载)

 接点功能:上下限运行(ON/OFF控制)、USP 从判断、异常报警、

维护中选择设置

校准功能电导率:通过输入电极常数的校正系数(参数输入)

温度:与参考温度计比较校准

TDS:通过任意系数转换(0.30 到 1.00)

保持功能从最后一分钟保持、任意值保持和连续中选择

(但是,在维护模式下,使用最后一个值保持)。

自诊断功能 传感器诊断(温度传感器短路、温度传感器断线)

超出测量范围

A/D转换器比例过

转换器错误

 

温度补偿 超纯水的温度特性(参考温度25℃)

NaCl的温度特性

参考温度和温度系数可选设置(参考温度:5~95°C 温度系数:±5%/°C)

 

温度补偿范围0-100℃

工作环境温度和湿度温度:-5 至 45°C,湿度:20 至 85%(无冷凝)

电源供应AC100-240V ± 10% 50 / 60Hz 10VA(最大)

保护结构面板部分:IP65、后壳:IP20、端子部分:IP00(面板安装室内安装型)

大量的约400克

符合标准CE 标志,FCC Part15

组合传感器ESH系列电导GC传感器

可滚动的

传感器

格式ESH-01-L-GC5-Y-10M ESH-1-L-GC9-Y-10M

电池常数(约 0.1/cm) (约 1 个/厘米)

湿接触材料极端部分 GC(玻璃碳)

身体的一部分 粉煤灰

橡胶密封件 Callets®

样品水条件温度:0-80℃,压力:0-0.5MPa

电缆长度10m,Y端子(标准)*4

安装旋入直径:R(PT)3/4

组合支架分配型支架EFA-30系列*5

可滚动的

* 4 请联系我们了解电缆长度和端子加工形状。

* 5 分配型支架使用 EFA-30P (PVDF) 或 EFA-30F (PFA)。


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