HORIBA堀场

HORIBA堀场用于半导体制造工艺的 HF 密度计HF-960EM

HF-960EM 是使用带有完全 PFA 接液部件的传感器的型号,以满足半导体工艺的清洁度要求。传感器尺寸已缩小到最大极限,以支持节省空间的安装。提高稳定性和重现性准确性,并支持高达 50% 的 HF 浓度的宽测量范围。·特征:HF 密度高达 50% 的宽范围设置·高稳定性/再现性精度内置温度测量传感器支持高达 80°C 的 HF 样品测量。再现精度达到 FS ± 0.5%。·自动量程兼容功能·无

  • 型号: HF-960EM

HF-960EM 是使用带有完全 PFA 接液部件的传感器的型号,以满足半导体工艺的清洁度要求。传感器尺寸已缩小到最大极限,以支持节省空间的安装。提高稳定性和重现性准确性,并支持高达 50% 的 HF 浓度的宽测量范围。

·特征:HF 密度高达 50% 的宽范围设置

·高稳定性/再现性精度

内置温度测量传感器支持高达 80°C 的 HF 样品测量。再现精度达到 FS ± 0.5%。

·自动量程兼容功能

·无污染/耐化学性液体传感器

使用仅使用 PFA 作为接液材料的清洁结构的传感器。由于它是一种耐化学品传感器,它还可以测量半导体工艺中使用的各种化学品。

·比我们的传统传感器更小、更轻

的传感器。它的尺寸缩小了 2/3,并且明显更轻。提高了安装空间的自由度,例如安装在单晶片喷嘴的前面。


规格:

模型HF-960EM

测量范围HF:0 -50%,HCl:0 -10%,电导率:0――2000 mS/cm

重复性在满量程的 +/- 0.5% 以内(等效输入)

直线度满量程 +/- 0.5% FS 或更小(等效输入)

传输输出输出点数:4点

接点输出输出点数:5点

触点输入输入点数:2点

通讯功能RS-485

电源供应直流 24 V +/- 10% 15W

合格传感器CM-520 系列

润湿部分粉煤灰


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