气体混合器 CUBE系列 CUBEGM3
气体混合器 CUBE系列 CUBEGM2气体混合器 CUBE系列 CUBEGM3品牌：其他特点：● 是质量流量控制器、控制电源、阀门、止回阀、气体混合器一体式的模块型。● 可对2～4种不同气体进行流量控制以供应混合气体。规格：● 对应气体:Air・N2・Ar・He・H2(其他气体请咨询)● 流量控制范围:各气体F.S.10SCCM~20SLM(但是，各气体的合计流量为50SLM以下)● 流量设定:
- 型号： CUBEGM3
气体混合器 CUBE系列 CUBEGM2
气体混合器 CUBE系列 CUBEGM3
品牌：其他
特点：
● 是质量流量控制器、控制电源、阀门、止回阀、气体混合器一体式的模块型。
● 可对2～4种不同气体进行流量控制以供应混合气体。
规格：
● 对应气体:Air・N2・Ar・He・H2(其他气体请咨询)
● 流量控制范围:各气体F.S.10SCCM~20SLM(但是，各气体的合计流量为50SLM以下)
● 流量设定:可通过10转电位计变化
● 流量设定/输出显示:定标显示
● 设定/输出显示切换:拨动开关
● IN・OUTLET阀门:球阀
● 接气部材质:不锈钢(SUS316)、PTFE(四氟化乙烯树脂)、氟橡胶
● 接头:相当于1/4in.SWL
● 外部泄漏:5×10^-7Pa・m3/secHe
● 输入电源:AC100V
● 使用环境:温度/5~50°C(精度保证范围:15~35°C)、湿度/30~80%(无结露)
● 配件:AC电缆(2m)