质量流量控制器 C1020-4S2-10L-Air质量流量控制器C1020-4S2-10L-N2采用热式流量传感器 流量控制器C1020-4S2-10L-Ar采用热式流量传感器 流量控制器C1020-4S2-10L-He工作压力范围:50~300kPa质量流量控制器 C1020-4S2-10L-H2品牌：其他特点：● 采用热式流量传感器，无需温度补偿电路即可实现流量精度。● 抑制启动时的涌流现象(
质量流量控制器 C1020-4S2-10L-Air
质量流量控制器C1020-4S2-10L-N2
采用热式流量传感器 流量控制器C1020-4S2-10L-Ar
采用热式流量传感器 流量控制器C1020-4S2-10L-He
工作压力范围:50~300kPa质量流量控制器 C1020-4S2-10L-H2
品牌：其他
特点：
● 采用热式流量传感器，无需温度补偿电路即可实现流量精度。
● 抑制启动时的涌流现象(需要30秒以上的间隔)。
规格：
● 流量精度:±2%FS(精度保证范围15~35°C)
● 再现性:±0.2%FS
● 流量控制范围:5~100%FS
● 流体:气体
● 可使用温度:5~50°C85%RH以下
● 响应性:6sec
● 工作压力范围:50~300kPa
● 耐压:1MPa(G)
● 外部泄漏率:1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下
● 接气部材质:SUS316・PTFE・氟橡胶
● 表面处理:机械加工完成
● 接头:相当于1/4in.SWL
● 输入输出:模拟信号(0~5VDC)
● 阀门形式:N/O普通开关
● 驱动电源:+15VDC±5%60mA、-15VDC±5%150mA
● 通信方式:模拟0~5VDC(D-Sub9Pin连接器)