工作压力范围:50~300kPa质量流量控制器C1020-4S2-20L-Air

质量流量控制器 C1020-4S2-10L-Air

质量流量控制器C1020-4S2-10L-N2

采用热式流量传感器 流量控制器C1020-4S2-10L-Ar

采用热式流量传感器 流量控制器C1020-4S2-10L-He

工作压力范围:50~300kPa质量流量控制器 C1020-4S2-10L-H2

工作压力范围:50~300kPa质量流量控制器C1020-4S2-20L-Air

品牌：其他

特点：

● 采用热式流量传感器，无需温度补偿电路即可实现流量精度。

● 抑制启动时的涌流现象(需要30秒以上的间隔)。

规格：

● 流量精度:±2%FS(精度保证范围15~35°C)

● 再现性:±0.2%FS

● 流量控制范围:5~100%FS

● 流体:气体

● 可使用温度:5~50°C85%RH以下

● 响应性:6sec

● 工作压力范围:50~300kPa

● 耐压:1MPa(G)

● 外部泄漏率:1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下

● 接气部材质:SUS316・PTFE・氟橡胶

● 表面处理:机械加工完成

● 接头:相当于1/4in.SWL

● 输入输出:模拟信号(0~5VDC)

● 阀门形式:N/O普通开关

● 驱动电源:+15VDC±5%60mA、-15VDC±5%150mA

● 通信方式:模拟0~5VDC(D-Sub9Pin连接器)