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陶瓷吸附台用于半导体工业CAT0507S

陶瓷吸附台用于半导体工业CAT0507S品牌:NABEYA ナベヤ特点:● 适用于生片、聚酰亚胺薄膜、轻软材料、薄材料等的吸附。● 气孔径55μm型比机械加工的孔径小,被吸附物的变形量小。● 气孔径2μm型可部分吸附,不覆盖附着表面的正面,无需掩蔽。● 气孔径2μm型可吸附刚性低的超薄(板厚数μm)的工件,不会变形。规格:● 材质:上表面/氧化铝系陶瓷、底座/不锈钢(SUS303)● 平均气孔率:

  • 型号: CAT0507S

陶瓷吸附台用于半导体工业CAT0507S

品牌:NABEYA ナベヤ

特点:

● 适用于生片、聚酰亚胺薄膜、轻软材料、薄材料等的吸附。

● 气孔径55μm型比机械加工的孔径小,被吸附物的变形量小。

● 气孔径2μm型可部分吸附,不覆盖附着表面的正面,无需掩蔽。

● 气孔径2μm型可吸附刚性低的超薄(板厚数μm)的工件,不会变形。


规格:

● 材质:上表面/氧化铝系陶瓷、底座/不锈钢(SUS303)

● 平均气孔率:30~35%

● ※使用时需另外使用真空泵。


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