陶瓷吸附台用于半导体工业CAT0507S
陶瓷吸附台用于半导体工业CAT0507S品牌:NABEYA ナベヤ特点:● 适用于生片、聚酰亚胺薄膜、轻软材料、薄材料等的吸附。● 气孔径55μm型比机械加工的孔径小,被吸附物的变形量小。● 气孔径2μm型可部分吸附,不覆盖附着表面的正面,无需掩蔽。● 气孔径2μm型可吸附刚性低的超薄(板厚数μm)的工件,不会变形。规格:● 材质:上表面/氧化铝系陶瓷、底座/不锈钢(SUS303)● 平均气孔率:
- 型号: CAT0507S
陶瓷吸附台用于半导体工业CAT0507S品牌:NABEYA ナベヤ特点:● 适用于生片、聚酰亚胺薄膜、轻软材料、薄材料等的吸附。● 气孔径55μm型比机械加工的孔径小,被吸附物的变形量小。● 气孔径2μm型可部分吸附,不覆盖附着表面的正面,无需掩蔽。● 气孔径2μm型可吸附刚性低的超薄(板厚数μm)的工件,不会变形。规格:● 材质:上表面/氧化铝系陶瓷、底座/不锈钢(SUS303)● 平均气孔率:
陶瓷吸附台用于半导体工业CAT0507S
品牌:NABEYA ナベヤ
特点:
● 适用于生片、聚酰亚胺薄膜、轻软材料、薄材料等的吸附。
● 气孔径55μm型比机械加工的孔径小,被吸附物的变形量小。
● 气孔径2μm型可部分吸附,不覆盖附着表面的正面,无需掩蔽。
● 气孔径2μm型可吸附刚性低的超薄(板厚数μm)的工件,不会变形。
规格:
● 材质:上表面/氧化铝系陶瓷、底座/不锈钢(SUS303)
● 平均气孔率:30~35%
● ※使用时需另外使用真空泵。