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多孔陶瓷吸附台用于半导体行业CAT0507R

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  • 型号: CAT0507R

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多孔陶瓷吸附台用于半导体行业CAT0507R


品牌:NABEYA ナベヤ

特点:

● 适用于生片、聚酰亚胺薄膜、轻软材料、薄材料等的吸附。

● 气孔径55μm型比机械加工的孔径小,被吸附物的变形量小。

● 气孔径2μm型可部分吸附,不覆盖附着表面的正面,无需掩蔽。

● 气孔径2μm型可吸附刚性低的超薄(板厚数μm)的工件,不会变形。


规格:

● 材质:上表面/氧化铝系陶瓷、底座/不锈钢(SUS303)

● 平均气孔率:30~35%

● ※使用时需另外使用真空泵。







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