微孔陶瓷吸附平台适用于薄材料等的吸附CAT2022R、Φ220x115
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- 型号： CAT2022R
陶瓷吸附台用于半导体工业CAT0507S
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微孔陶瓷吸附平台适用于薄材料等的吸附CAT2022R、Φ220x115
品牌：NABEYA ナベヤ
特点：
● 适用于生片、聚酰亚胺薄膜、轻软材料、薄材料等的吸附。
● 气孔径55μm型比机械加工的孔径小，被吸附物的变形量小。
● 气孔径2μm型可部分吸附，不覆盖附着表面的正面，无需掩蔽。
● 气孔径2μm型可吸附刚性低的超薄(板厚数μm)的工件，不会变形。
规格：
● 材质:上表面/氧化铝系陶瓷、底座/不锈钢(SUS303)
● 平均气孔率:30~35%
● ※使用时需另外使用真空泵。