日本 LINTEC琳得科 实现理想的胶带剥离效果 RAD-3000F/8
日本 LINTEC琳得科 实现理想的胶带剥离效果 RAD-3000F/81. 实现理想的胶带剥离效果通过采用以180°的角度将BG表面保护胶带从晶圆上剥离的剥离方法，可以最小化晶圆上的应力。2. 自动控制UV照度和光强通过内置传感器反馈控制 UV 照度和光强度，即使使用 UV 固化 BG 表面保护胶带，也可以实现稳定的胶带剥离。
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日本 LINTEC琳得科 实现理想的胶带剥离效果 RAD-3000F/8
1. 实现理想的胶带剥离效果
通过采用以180°的角度将BG表面保护胶带从晶圆上剥离的剥离方法，可以最小化晶圆上的应力。
2. 自动控制UV照度和光强
通过内置传感器反馈控制 UV 照度和光强度，即使使用 UV 固化 BG 表面保护胶带，也可以实现稳定的胶带剥离。