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KOFLOC科赋乐 低压调节器MODEL 6610 SERIES 压力调节阀

KOFLOC科赋乐 低压调节器MODEL 6610 SERIES 压力调节阀与MODEL6600相比,新开发的本仪器在低压侧精度更高,重现性更好,能够快速准确地进行压力调节。本产品适合用于高灵敏度的分析仪器、研究开发或半导体制造设备。具有低压侧高精度控制的特性将压力设为0.01〜0.15MPa,在此条件下对于一次侧压力变化、二次侧负荷电阻变化,具有重现性在±1%以内的高控制性能。不使用润滑油接触气

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KOFLOC科赋乐 低压调节器MODEL 6610 SERIES 压力调节阀


与MODEL6600相比,新开发的本仪器在低压侧精度更高,重现性更好,能够快速准确地进行压力调节。

本产品适合用于高灵敏度的分析仪器、研究开发或半导体制造设备。


具有低压侧高精度控制的特性

将压力设为0.01〜0.15MPa,在此条件下对于一次侧压力变化、二次侧负荷电阻变化,具有重现性在±1%以内的高控制性能。

不使用润滑油

接触气体部分由不锈钢、氟橡胶、氟树脂制成,不使用任何润滑油,最适合需要保持纯净状态的半导体领域等。

 防松螺母结构

通过防松螺母固定设定过一次的压力调节位置,可防止设定发生变化。

 不渗液型

本产品属于不渗液型,不会发生气体外泄,请您放心使用。


用途

用于气相色谱仪

用于高纯度气体控制

用于低压控制设备

用于半导体领域等


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