日本KOFLOC科赋乐 MODEL DF-300气体质量流量计
KOFLOC科赋乐 数字质量流量控制器MODEL DF-350C SERIES流量计日本KOFLOC科赋乐 MODEL DF-300气体质量流量计DF-350系列是一款数字质量流量控制器,以DF-250系列50 SLM以下规格为基准,与DC24V电源兼容。50SML以下的规格高速响应(全范围1秒内)10SCCM~50SLM序列标准配备通讯功能(RS485)支持RoHS.CE规格可选择有无显示屏可选
- 型号:
KOFLOC科赋乐 数字质量流量控制器MODEL DF-350C SERIES流量计日本KOFLOC科赋乐 MODEL DF-300气体质量流量计DF-350系列是一款数字质量流量控制器,以DF-250系列50 SLM以下规格为基准,与DC24V电源兼容。50SML以下的规格高速响应(全范围1秒内)10SCCM~50SLM序列标准配备通讯功能(RS485)支持RoHS.CE规格可选择有无显示屏可选
KOFLOC科赋乐 数字质量流量控制器MODEL DF-350C SERIES流量计
日本KOFLOC科赋乐 MODEL DF-300气体质量流量计
DF-350系列是一款数字质量流量控制器,
以DF-250系列50 SLM以下规格为基准,与DC24V电源兼容。
50SML以下的规格高速响应(全范围1秒内)
10SCCM~50SLM序列
标准配备通讯功能(RS485)
支持RoHS.CE规格
可选择有无显示屏
可选输入/输出信号
传感器方式 | 热绕组传感器 | ||
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阀门方式 | 比例电磁阀(未通电时关闭) | ||
目标气体(* 1) | N2,空气,H2,He,Ar,O2,CO2等 (未记载的气体换算成N2进行校正) | ||
流量范围(* 2) | 10 SCCM~10 SLM | 20~50SLM (CO2:20~30 SLM) | |
控制范围 | 2~100%(F.S.) | ||
响应速度 | 总流量控制范围 1sec内(wihtin±2%F.S.) | ||
L:50kPa~149kPa H:150kPa~300kPa | |||
精度(* 3) | ±1.0%F.S. | ||
再现性 | ±0.25%F.S. | ||
动作压差(* 4) | 50~300 kPa(Ar,CO2:100~300 kPa) | 100~300 kPa(Ar,CO2:150~300 kPa) | |
最大入口压力 | 500kPa(G) | ||
耐压 | 980kPa(G) | ||
He泄漏率(* 5) | 1 x 10-8 Pa·m3 / sec以下 | ||
温度 | 使用温度 | 5~50℃ | |
精度保证温度 | 15~35℃ | ||
允许储存温度 | -10~60℃ | ||
允许工作湿度 | 10~90%RH (无结露) | ||
气体接触材料 | SUS316、SUS316L、磁性不锈钢、Ni、PTFE、PCTFE、FKM | ||
电气连接 | D-sub 15引脚 公头 高密度型,HR-10A×2 | ||
流量设定信号 | 0~5 VDC(输入电阻:约1MΩ)or4~20mA(输入电阻:约250Ω) | ||
流量输出信号 | 0~5 VDC(负载电阻:10kΩ以上)or4~20mA(负载电阻:500Ω以下) | ||
数字通信 | 使用RS485旋转开关或显示屏设置地址:最多99台(9600 bps) | ||
活动输入 | 接点输入×3个(非绝缘) | ||
活动输出 | NPN开路集电极×3个(非绝缘,最大额定值35 V,50 mA) | ||
所需电源(DC) | + 24VDC(±10%)300mA以下(DC插孔.D-sub) | ||
接头(* 6) | 1 / 4F 900(标准),1/4 UJR,Rc1 / 4 | ||
安装姿势 | 推荐水平方向 | ||
重量(* 9) | 约950g | 约1100g |