KOFLOC科赋乐 气体质量流量计MODEL DF-200半导体、实验室用
KOFLOC科赋乐 数字质量流量控制器MODEL DF-350C SERIES流量计日本KOFLOC科赋乐 MODEL DF-300气体质量流量计原装KOFLOC科赋乐 MODEL DF-550气体质量流量计KOFLOC科赋乐 气体质量流量计MODEL DF-200半导体、实验室用DF-350系列是一款数字质量流量控制器，以DF-250系列50 SLM以下规格为基准，与DC24V电源兼容。50SM
- 型号：
KOFLOC科赋乐 数字质量流量控制器MODEL DF-350C SERIES流量计
日本KOFLOC科赋乐 MODEL DF-300气体质量流量计
原装KOFLOC科赋乐 MODEL DF-550气体质量流量计
KOFLOC科赋乐 气体质量流量计MODEL DF-200半导体、实验室用
DF-350系列是一款数字质量流量控制器，
以DF-250系列50 SLM以下规格为基准，与DC24V电源兼容。
50SML以下的规格高速响应（全范围1秒内）
10SCCM~50SLM序列
标准配备通讯功能（RS485）
支持RoHS.CE规格
可选择有无显示屏
可选输入/输出信号
| 传感器方式 | 热绕组传感器 | ||
|---|---|---|---|
| 阀门方式 | 比例电磁阀（未通电时关闭） | ||
| 目标气体（* 1） | N2，空气，H2，He，Ar，O2，CO2等 （未记载的气体换算成N2进行校正） | ||
| 流量范围（* 2） | 10 SCCM~10 SLM | 20~50SLM （CO2：20~30 SLM） | |
| 控制范围 | 2~100％（F.S.） | ||
| 响应速度 | 总流量控制范围 1sec内(wihtin±2％F.S.) | ||
| L：50kPa~149kPa H：150kPa~300kPa | |||
| 精度（* 3） | ±1.0%F.S. | ||
| 再现性 | ±0.25%F.S. | ||
| 动作压差（* 4） | 50~300 kPa（Ar，CO2：100~300 kPa） | 100~300 kPa（Ar，CO2：150~300 kPa） | |
| 最大入口压力 | 500kPa(G) | ||
| 耐压 | 980kPa(G) | ||
| He泄漏率（* 5） | 1 x 10-8 Pa·m3 / sec以下 | ||
| 温度 | 使用温度 | 5～50℃ | |
| 精度保证温度 | 15～35℃ | ||
| 允许储存温度 | -10～60℃ | ||
| 允许工作湿度 | 10～90%RH （无结露） | ||
| 气体接触材料 | SUS316、SUS316L、磁性不锈钢、Ni、PTFE、PCTFE、FKM | ||
| 电气连接 | D-sub 15引脚 公头 高密度型，HR-10A×2 | ||
| 流量设定信号 | 0~5 VDC（输入电阻：约1MΩ）or4～20mA（输入电阻:约250Ω） | ||
| 流量输出信号 | 0~5 VDC（负载电阻：10kΩ以上)or4～20mA（负载电阻:500Ω以下) | ||
| 数字通信 | 使用RS485旋转开关或显示屏设置地址：最多99台（9600 bps） | ||
| 活动输入 | 接点输入×3个（非绝缘） | ||
| 活动输出 | NPN开路集电极×3个（非绝缘，最大额定值35 V，50 mA） | ||
| 所需电源（DC） | + 24VDC（±10％）300mA以下（DC插孔.D-sub） | ||
| 接头（* 6） | 1 / 4F 900（标准），1/4 UJR，Rc1 / 4 | ||
| 安装姿势 | 推荐水平方向 | ||
| 重量（* 9） | 约950g | 约1100g | |