KOFLOC科赋乐 质量流量控制器EX-250SC日本进口
KOFLOC科赋乐小型质量流量装置MODEL EX-250S SERIESKOFLOC科赋乐 小型质量流量装置MODEL EX-700流量计KOFLOC科赋乐 质量流量控制器EX-250SC日本进口它是一种数字质量流量设备，通过标准通信功能（RS 485）实现高精度和高速响应，同时结构紧凑，采用高速绕线传感器和内部开发的具有出色稳定性的小型比例电磁阀。小型质量流量装置（W76 x D30 x H7
- 型号：
KOFLOC科赋乐小型质量流量装置MODEL EX-250S SERIES
KOFLOC科赋乐 小型质量流量装置MODEL EX-700流量计
KOFLOC科赋乐 质量流量控制器EX-250SC日本进口
它是一种数字质量流量设备，通过标准通信功能（RS 485）实现高精度和高速响应，同时结构紧凑，
采用高速绕线传感器和内部开发的具有出色稳定性的小型比例电磁阀。
小型质量流量装置（W76 x D30 x H76）
高速应答及出色的零点稳定性
□0-5V或4-20mA输入/输出信号，电源
可从±15 V或24 V单电源选择
电源连接器采用通用性较高的D-sub9针连接器
通过切换旋转开关，可以使用主机中登记的气体类型。
※流量是与N2气体的比率计算出的值
标准配备通讯功能（RS485）
符合RoHS•CE标准
| 形式 | 质量流量控制器 EX-250SC | 质量流量计 EX-250SM | |
|---|---|---|---|
| 传感器方式 | 热绕组传感器 | ||
| 阀门方式 | 比例螺线管阀门（未通电时关闭） | – | |
| 目标气体（* 1） | N2，Air，H2，He，Ar，O2，CO2等 （未列出的气体换算成N2） | ||
| 流量范围（* 2） | 10 SCCM~5 SLM | ||
| 控制范围（测量范围） | 2~100％（F.S.） | ||
| 响应速度 | 总流量控制范围在1sec内（within±2%F.S.） | ||
| L：50kPa~149kPa H：150kPa~300kPa | – | ||
| 精度（* 3） | ±1.0%F.S. | ||
| 再现性 | ±0.2%F.S. | ||
| 工作压差（* 4） | 50~300 kPa（Ar，CO2：100 kPa~300 kPa） | – | |
| 最大入口压力 | 500kPa（G） | ||
| 耐压 | 980kPa（G） | ||
| He泄漏率（* 5） | 1 x 10-8 Pa.m3 / sec以下 | ||
| 温度 | 允许周围温度 | 5～50℃ | |
| 精度保证温度 | 15～35℃ | ||
| 允许储存温度 | -10～60℃ | ||
| 允许环境湿度 | 10～90%RH （无结露） | ||
| 气体接触材料 | SUS316，SUS316L，磁性不锈钢（* 6），PTFE，FKM | ||
| 电气连接 | Dsub 9针KFC标准（符合SEMI标准） HR-10A | ||
| 流量设定输入信号 | 0~5 VDC（输入电阻约1MΩ） Or 4~20mA（输入电阻约250Ω） | – | |
| 流量输出信号 | 0~5 VDC（负载电阻10kΩ以上） or 4~20mA（负载电阻500Ω以下） | ||
| 数字通信 | 通过RS485旋转开关设置地址 | ||
| 所需电源（DC） | +15 VDC（±5％）100 mA以下，-15 VDC（±5％）150 mA以下 or+ 24VDC（±10％）180mA以下（MFM都为100mA以下） | ||
| 接头（* 7） | 1/4F900（标准） | ||
| 安装姿势 | 推荐水平方向 | ||
| 重量（* 8） | 约500g | 约440g | |