KOFLOC科赋乐

KOFLOC科赋乐 高性能数字质量流量控制器MODEL DF-200C SERIES

KOFLOC科赋乐 高性能数字质量流量控制器MODEL DF-250C SERIESDF-250系列是一款高性能数字质量流量控制器,可在1秒内(所有区域)实现低于50 SLM的响应。该系列提供高达500 SLM的高流量系列。标准气体用真实气体校准~50 SLM在整个区域内1秒内快速响应从10SCCM到500SLM的阵容标准配备通讯功能(RS485)RoHS。符合CE标准传感器方式热绕组传感器阀门方

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KOFLOC科赋乐 高性能数字质量流量控制器MODEL DF-250C SERIES


DF-250系列是一款高性能数字质量流量控制器,


可在1秒内(所有区域)实现低于50 SLM的响应。

该系列提供高达500 SLM的高流量系列。

标准气体用真实气体校准

~50 SLM在整个区域内1秒内快速响应

从10SCCM到500SLM的阵容

标准配备通讯功能(RS485)

RoHS。符合CE标准


传感器方式热绕组传感器
阀门方式比例电磁阀(未通电时关闭)
目标气体(* 1)N2,空气,H2,He,Ar,O2,CO2等
(未描述的气体是N2当量校准)
空气,N2
流量范围(* 2)10 SCCM到10 SLM20至50 SLM
(二氧化碳:20至30 SLM)
100,150 SLM200,300 SLM400,500 SLM(* 3)
控制范围2~100%(F.S.)5~100%(F.S.)
响应速度总流量控制范围在1秒内
(wihtin±2%F。S.)
1.5秒或更短
10%或更少是3秒或更短
(在±2%F。内)
2秒或更短(±2%FS内)
L:50.149kPa H:150.300kPaL:150.249kPa H:250.350kPaL:200。299kPa(* 9)H:300。350kPa
精度(* 4)±1.0%F.S.±2.0%F.S.
再现性±0.25%F.S.±0.5%F.S.
工作压差(* 5)50至300千帕
(Ar,CO2:100至300 kPa)
100至300千帕
(Ar,CO 2:150至300 kPa)
150至350千帕200 SLM:200至350 kPa
300 SLM:250至350 kPa
400 SLM:200至350 kPa
500 SLM:250至350 kPa
最大入口压力500kPa(G)
耐压980kPa(G)
He泄漏率(* 6)1 x 10-8 Pa.m3 / sec以下1 x 10-7 Pa.m3 / sec以下
温度工作温度5~50℃
精度保证温度15~35℃
允许储存温度-10~60℃
允许工作湿度10~90%RH (无结露)
气体接触材料SUS316,SUS316L,磁性不锈钢,Ni,PTFE,PCTFE,FKM
电气连接D-sub 9针KFC标准(符合SEMI标准),
RJ-45模块化插孔x 2
D-sub 9针KFC标准(符合SEMI标准),
HR-10A×2
流量设定信号0~5 VDC(输入电阻约1MΩ)
流量输出信号0~5 VDC(负载电阻10kΩ以上)
数字通信使用RS485旋转开关设置地址:最多99(9600 bps)
所需电源(DC)+15 VDC(±5%):150 mA,
-15 VDC(±5%):150 mA
+15 VDC(±5%):150 mA,
-15VDC(±5%):250mA
24 VDC(±10%):450 mA(DC插孔.D-sub)
接头(* 7)1 / 4F 900(标准),1/4 UJR,Rc1 / 41/2 SW(标准),3/4 SW
安装姿势推荐水平方向
重量(* 8)约850g约1000g约2250g约3500g


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