CANON-ANELVA佳能真空离子泵/Noble泵控制装置P-500、CANON-ANELVA佳能真空离子泵/Noble泵控制装置P-511 IP是在10 -2 Pa～10 -4 Pa以下的高真空下操作离子泵或惰性泵的控制装置。显示屏采用大型绿色 LED 来提高远距离可视性。在考虑与以前型号的兼容性的同时，我们实现了改进的功能以及 CE 和 RoHS 合规性。除了丰富的I/O功能外，还可以通过添
CANON-ANELVA佳能真空离子泵/Noble泵控制装置P-500、CANON-ANELVA佳能真空离子泵/Noble泵控制装置 P-511 IP
是在10 -2 Pa～10 -4 Pa以下的高真空下操作离子泵或惰性泵的控制装置。
显示屏采用大型绿色 LED 来提高远距离可视性。
在考虑与以前型号的兼容性的同时，我们实现了改进的功能以及 CE 和 RoHS 合规性。
除了丰富的I/O功能外，还可以通过添加选件板来支持RS232C通信，非常适合自动化设备和远程控制设备。
离子泵和惰性泵有两种类型：超高真空型和高输出型，可操作压力范围和启动压力根据所连接的泵而变化。
实现了高压
电源所需的高水平基本功能，例如提高了监测高性能电流和电压值时的最小可显示值、增加了压力显示以及各种保护功能兼容硬制程
兼容
各种I/O标准设备的外部控制，包括两个标准设定点、断电自动恢复（可选）
高兼容性
确保远程连接器、输入电缆和输出电缆与之前型号的兼容性
通讯兼容
RS232C（可选（工厂内置兼容））
符合标准
CE 标志，符合 RoHS 指令
目的：
电子显微镜、电子束光刻设备
离子束设备、掩模修复设备
存储环、光束线等加速器相关系统
MBE、表面分析设备等超高真空设备、各种分析设备等
| 型号名称 | P-511 IP | P-521 IP | |
|---|---|---|---|
| 姓名 | 离子泵控制装置 | ||
| 兼容泵 | 所有离子泵 | ||
| 最大输出电压 | DC+5.2 KV ±10%/DC+7.5 KV ±10%/DC+3.5 KV ±10% 可在程序模式下切换 | ||
| 最大输出电流 | 43毫安或以上 | 170mA以上 | |
| 输入电压 | AC90至250 V 50/60 Hz单相（多电压输入） | ||
| 能量消耗 | 最大约500VA | ||
| 外形尺寸 | W209 x H99 x D370 mm（1/2 机架尺寸） | ||
| 大量的 | 约 6 Kg（未安装可选板） | ||
| 工作温度/湿度 | 0～40℃/85%RH以下（无结露） | ||
| 使用环境 | 室内使用/海拔2000m以下/污染等级：2级/安装类别：II | ||
| 显示范围 | 输出电压 | 0.1×10 3 V（0.1KV）至8.0×10 3V（8.0KV） | |
| 输出电流 | 0.1×10 -7 A (10 nA) 至 5.0×10 -1 A (500 mA) | ||
| 压力 | 1.1×10 -9～ 1.0×10 -3 Pa （显示范围根据所连接的泵而变化） 1 L/s和8 L/s无显示功能 | ||
| 保护功能 | 配备各种保护功能。当保护功能启动时，显示屏上会显示错误和编号。 | ||
| 压力接触 | 1μA～99mA范围内可设定2点 | ||
| 远程模式 | 可使用前面板上的 REMOTE 开关切换 REMOTE/LOCAL。 | ||
| 一致 | CE 标志、RoHS | ||
| 型号名称 | P-511 NP | P-521 NP | |
|---|---|---|---|
| 姓名 | 贵族泵控制装置 | ||
| 兼容泵 | 所有 Noble 泵、Excel 泵、组合泵 | ||
| 最大输出电压 | DC-5.2 KV ±10%/DC-7.0 KV ±10% 可在程序模式下切换 | ||
| 最大输出电流 | 43毫安或以上 | 170mA以上 | |
| 输入电压 | AC90至250 V 50/60 Hz单相（多电压输入） | ||
| 能量消耗 | 最大约 500 VA | ||
| 外形尺寸 | W209 x H99 x D370 mm（1/2 机架尺寸） | ||
| 大量的 | 约6Kg（未安装可选板） | ||
| 工作温度/湿度 | 0～40℃/85%RH以下（无结露） | ||
| 使用环境 | 室内使用/海拔2000米以下/污染等级：2/安装类别：II | ||
| 显示范围 | 输出电压 | 0.1×10 3 V（0.1KV）至8.0×10 3V（8.0KV） | |
| 输出电流 | 0.1×10 -7 A (10 nA) 至 5.0×10 -1 A (500 mA) | ||
| 压力 | 1.1×10 -9～ 1.0×10 -3 Pa （显示范围根据所连接的泵而变化） | ||
| 保护功能 | 配备各种保护功能。当保护功能启动时，显示屏上会显示错误和编号。 | ||
| 压力接触 | 1μA～99mA范围内可设定2点 | ||
| 远程模式 | 可使用前面板上的 REMOTE 开关切换 REMOTE/LOCAL。 | ||
| 一致 | CE 标志、RoHS | ||