立即交付CANON-ANELVA佳能P-166C节能低温泵
立即交付CANON-ANELVA佳能节能低温泵P-126CL、CANON-ANELVA佳能POWER ECO系列低温泵P-106CL、CANON-ANELVA佳能POWER ECO系列P-087C节能低温泵、CANON-ANELVA佳能POWER ECO系列节能低温泵P-085C、玉崎供应CANON-ANELVA佳能节能低温泵P-085C、立即交付CANON-ANELVA佳能P-161CL节能低温
- 型号： P-166C
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半导体制造设备（溅射设备、离子注入设备）
电子元件制造设备
真空沉积设备
真空炉、空间室
加速器
各种高真空设备
POWER ECO系列低温泵是从节能的角度出发，以减少功耗和冷却水量为目的而开发的高性能、节能型低温泵。
【重要的】
出口、转让和废弃注意事项
低温泵 P-226C（直径 22 英寸）根据外汇和外贸法的规定属于需要出口许可的货物类别。向日本国外出口时，需要根据外汇及外贸法进行判断，因此请联系我们的营业部门。另外，在国内搬迁或废弃时，请注意目的地。
特征 目的 规格 有效节省能源和资源 播放/启动时间缩短 提高排气性能 *1) 如果不使用POWER系列专用控制电源“CRYONAVI”，或者配备氢蒸气压温度计（G型），则无法使用自加热功能，因此升温时间等会受到影响。低温泵再生所需的时间会更长。（与普通型低温泵相同） 上述再生（加热）时间是使用自加热功能时的值，是泵不储存氩气等气体时的值。+α是低温泵内部粗加工所需的时间。（根据低真空泵的类型、低温泵中混入的水量等而变化） *2) 排气量是使用我们专有的方法计算的，接近设备实际安装和使用时的值。 *3) 根据真空装置低温泵上的气体和热负荷，可运行的台数可能无法运行。 *4) 对于两个或多个标有 * 的装置的操作，需要单独的 Eco 装置。 [重要]成分
特征
电力消耗和冷却水量：可减少15%至70%
与传统方法相比不到一半（与我们公司相比）
氩气排气能力显着提高1.5～4倍（与本公司相比）Compact POWEREco 系列低温泵性能规格
泵型号名称 P-085C P-086C P-086CL P-087C P-106C P-106CL P-126C P-126CL P-127C 评论 口径 8英寸 8英寸 8英寸 8英寸 10英寸 10英寸 12英寸 12英寸 12英寸 形状 垂直的 垂直的 水平的 垂直的 垂直的 水平的 垂直的 水平的 垂直的 抽速
（L/S）氮 1,500 人 1,500 人 1,500 人 1,500 人 2,400 2,400 4,000 4,000 4,000 氩气 1,300 1,300 1,300 1,300 2,000 2,000 3,200 3,200 3,200 氢 1,000 2,500 人 2,200 1,000 3,800 3,700 6,000 6,000 3,000 水 4,000 4,000 4,000 4,000 6,400 6,400 9,000 9,000 9,000 最大排气流量（Pa･m 3 /s） 1.2 1.2 1.1 1.2 1.0 1.0 0.8 0.8 0.8 最大气体瞬时容许量（Pa･m3） 18.0 18.0 18.0 18.0 18.0 18.0 18.0 18.0 18.0 启动时间（分钟） 60 65 80 60 85 100 95 105 70 *1 再生（加热）时间（分钟） 40 40 45 40 45 50 45 50 40 *1 启动播放时间（分钟） 100＋α 105+α 125+α 100＋α 130＋α 150＋α 140＋α 155+α 110+α *1 排气能力（Pa· m3） 氩气 80,000 80,000 80,000 150,000 160,000 140,000 260,000 20万 40万 *2 氢 1,300 1,800 1,600 1,300 2,000 1,800 2,400 2,200 1,600 达到温度(K) 15 或更少 极限压力（Pa） 10 -7单位 最高加热温度(℃) 70 环境温度范围（℃） 10～35 建议维护时间（h） 每 16,000 或更少 质量（公斤） 22 22 22 23 24 二十五 29 30 29 可营运车辆数量（辆） P-421CA 3* 3* 3* 3* 2* 2* 2* 2* 2* *3、*4 P-875CA 五 五 五 五 四 四 四 四 四 *3 中型/大型 POWEREco 系列低温泵性能规格
泵型号名称 P-128C P-128CL P-160C P-161C P-161CL P-166C P-201C P-206C P-226C 评论 口径 12英寸 12英寸 16英寸 16英寸 16英寸 16英寸 20英寸 20英寸 22英寸 形状 垂直的 水平的 垂直的 垂直的 水平的 垂直的 垂直的 垂直的 垂直的 抽速
（L/S）氮 4,000 4,000 8,000 8,000 7,400 8,000 13,000 13,000 17,000 氩气 3,200 3,200 5,500 人 5,500 人 5,000 5,500 人 9,000 9,000 11,000 氢 6,000 5,000 5,500 人 11,000 10,000 11,000 17,000 17,000 23,000 水 9,000 9,000 17,000 17,000 17,000 17,000 28,000 28,000 39,000 最大排气流量（Pa･m 3 /s） 2.2 2.2 2.2 2.0 2.2 3.5 1.3 3.0 2.7 最大气体瞬时容许量（Pa･m3） 40 40 50 50 50 50 80 80 133 启动时间（分钟） 110 115 70 90 120 80 150 100 120 *1 再生（加热）时间（分钟） 70 70 40 60 60 60 70 80 80 *1 启动播放时间（分钟） 180＋α 185+α 110+α 150＋α 180＋α 140＋α 220＋α 180＋α 200＋α *1 排气能力（Pa· m3） 氩气 270,000 20万 40万 40万 20万 40万 80万 80万 1,000,000 *2 氢 4,000 3,500 人 1,600 3,400 3,000 3,400 4,500 7,500 7,500 达到温度(K) 15 或更少 极限压力（Pa） 10 -7单位 最高加热温度(℃) 70 环境温度范围（℃） 10～35 建议维护时间（h） 每 16,000 或更少 质量（公斤） 33 34 50 50 65 50 60 60 87 可营运车辆数量（辆） P-421CA 1 1 1 1 1 ― 1 ― ― *四 P-875CA 2 2 2 2 2 1 2 1 1 *3
出口、转让、废弃时的注意事项
低温泵 P-226C（22 英寸口径）根据外汇及对外贸易法的规定属于需要出口许可的货物类别。向日本国外出口时，需要根据外汇及外贸法进行判断，因此请联系我们的营业部门。另外，在国内搬迁或废弃时，请注意目的地。