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日本原装CANON-ANELVA佳能POWEREco 系列低温泵P-206C立即交付日本原装CANON-ANELVA佳能低温泵 P-201C立即交付CANON-ANELVA佳能节能低温泵P-126CL、CANON-ANELVA佳能POWER ECO系列低温泵P-106CL、CANON-ANELVA佳能POWER ECO系列 P-087C节能低温泵、CANON-ANELVA佳能POWER ECO系列节能低温泵 P-085C、玉崎供应CANON-ANELVA佳能节能低温泵P-085C、立即交付CANON-ANELVA佳能P-161CL节能低温泵
半导体制造设备（溅射设备、离子注入设备）
电子元件制造设备
真空沉积设备
真空炉、空间室
加速器
各种高真空设备
POWER ECO系列低温泵是从节能的角度出发，以减少功耗和冷却水量为目的而开发的高性能、节能型低温泵。
【重要的】
出口、转让和废弃注意事项
低温泵 P-226C（直径 22 英寸）根据外汇和外贸法的规定属于需要出口许可的货物类别。向日本国外出口时，需要根据外汇及外贸法进行判断，因此请联系我们的营业部门。另外，在国内搬迁或废弃时，请注意目的地。
特征
目的
规格
有效节省能源和资源
电力消耗和冷却水量：可减少15%至70%
播放/启动时间缩短
与传统方法相比不到一半（与我们公司相比）
提高排气性能
氩气排气能力显着提高1.5～4倍（与本公司相比）
| 泵型号名称 | P-085C | P-086C | P-086CL | P-087C | P-106C | P-106CL | P-126C | P-126CL | P-127C | 评论 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 口径 | 8英寸 | 8英寸 | 8英寸 | 8英寸 | 10英寸 | 10英寸 | 12英寸 | 12英寸 | 12英寸 | ||
| 形状 | 垂直的 | 垂直的 | 水平的 | 垂直的 | 垂直的 | 水平的 | 垂直的 | 水平的 | 垂直的 | ||
| 抽速 （L/S） | 氮 | 1,500 人 | 1,500 人 | 1,500 人 | 1,500 人 | 2,400 | 2,400 | 4,000 | 4,000 | 4,000 | |
| 氩气 | 1,300 | 1,300 | 1,300 | 1,300 | 2,000 | 2,000 | 3,200 | 3,200 | 3,200 | ||
| 氢 | 1,000 | 2,500 人 | 2,200 | 1,000 | 3,800 | 3,700 | 6,000 | 6,000 | 3,000 | ||
| 水 | 4,000 | 4,000 | 4,000 | 4,000 | 6,400 | 6,400 | 9,000 | 9,000 | 9,000 | ||
| 最大排气流量（Pa･m 3 /s） | 1.2 | 1.2 | 1.1 | 1.2 | 1.0 | 1.0 | 0.8 | 0.8 | 0.8 | ||
| 最大气体瞬时容许量（Pa･m3） | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | ||
| 启动时间（分钟） | 60 | 65 | 80 | 60 | 85 | 100 | 95 | 105 | 70 | *1 | |
| 再生（加热）时间（分钟） | 40 | 40 | 45 | 40 | 45 | 50 | 45 | 50 | 40 | *1 | |
| 启动播放时间（分钟） | 100＋α | 105+α | 125+α | 100＋α | 130＋α | 150＋α | 140＋α | 155+α | 110+α | *1 | |
| 排气能力（Pa· m3） | 氩气 | 80,000 | 80,000 | 80,000 | 150,000 | 160,000 | 140,000 | 260,000 | 20万 | 40万 | *2 |
| 氢 | 1,300 | 1,800 | 1,600 | 1,300 | 2,000 | 1,800 | 2,400 | 2,200 | 1,600 | ||
| 达到温度(K) | 15 或更少 | ||||||||||
| 极限压力（Pa） | 10 -7单位 | ||||||||||
| 最高加热温度(℃) | 70 | ||||||||||
| 环境温度范围（℃） | 10～35 | ||||||||||
| 建议维护时间（h） | 每 16,000 或更少 | ||||||||||
| 质量（公斤） | 22 | 22 | 22 | 23 | 24 | 二十五 | 29 | 30 | 29 | ||
| 可营运车辆数量（辆） | P-421CA | 3* | 3* | 3* | 3* | 2* | 2* | 2* | 2* | 2* | *3、*4 |
| P-875CA | 五 | 五 | 五 | 五 | 四 | 四 | 四 | 四 | 四 | *3 | |
| 泵型号名称 | P-128C | P-128CL | P-160C | P-161C | P-161CL | P-166C | P-201C | P-206C | P-226C | 评论 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 口径 | 12英寸 | 12英寸 | 16英寸 | 16英寸 | 16英寸 | 16英寸 | 20英寸 | 20英寸 | 22英寸 | ||
| 形状 | 垂直的 | 水平的 | 垂直的 | 垂直的 | 水平的 | 垂直的 | 垂直的 | 垂直的 | 垂直的 | ||
| 抽速 （L/S） | 氮 | 4,000 | 4,000 | 8,000 | 8,000 | 7,400 | 8,000 | 13,000 | 13,000 | 17,000 | |
| 氩气 | 3,200 | 3,200 | 5,500 人 | 5,500 人 | 5,000 | 5,500 人 | 9,000 | 9,000 | 11,000 | ||
| 氢 | 6,000 | 5,000 | 5,500 人 | 11,000 | 10,000 | 11,000 | 17,000 | 17,000 | 23,000 | ||
| 水 | 9,000 | 9,000 | 17,000 | 17,000 | 17,000 | 17,000 | 28,000 | 28,000 | 39,000 | ||
| 最大排气流量（Pa･m 3 /s） | 2.2 | 2.2 | 2.2 | 2.0 | 2.2 | 3.5 | 1.3 | 3.0 | 2.7 | ||
| 最大气体瞬时容许量（Pa･m3） | 40 | 40 | 50 | 50 | 50 | 50 | 80 | 80 | 133 | ||
| 启动时间（分钟） | 110 | 115 | 70 | 90 | 120 | 80 | 150 | 100 | 120 | *1 | |
| 再生（加热）时间（分钟） | 70 | 70 | 40 | 60 | 60 | 60 | 70 | 80 | 80 | *1 | |
| 启动播放时间（分钟） | 180＋α | 185+α | 110+α | 150＋α | 180＋α | 140＋α | 220＋α | 180＋α | 200＋α | *1 | |
| 排气能力（Pa· m3） | 氩气 | 270,000 | 20万 | 40万 | 40万 | 20万 | 40万 | 80万 | 80万 | 1,000,000 | *2 |
| 氢 | 4,000 | 3,500 人 | 1,600 | 3,400 | 3,000 | 3,400 | 4,500 | 7,500 | 7,500 | ||
| 达到温度(K) | 15 或更少 | ||||||||||
| 极限压力（Pa） | 10 -7单位 | ||||||||||
| 最高加热温度(℃) | 70 | ||||||||||
| 环境温度范围（℃） | 10～35 | ||||||||||
| 建议维护时间（h） | 每 16,000 或更少 | ||||||||||
| 质量（公斤） | 33 | 34 | 50 | 50 | 65 | 50 | 60 | 60 | 87 | ||
| 可营运车辆数量（辆） | P-421CA | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | ― | 1 | ― | ― | *四 |
| P-875CA | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 1 | 2 | 1 | 1 | *3 | |
*1) 如果不使用POWER系列专用控制电源“CRYONAVI”，或者配备氢蒸气压温度计（G型），则无法使用自加热功能，因此升温时间等会受到影响。低温泵再生所需的时间会更长。（与普通型低温泵相同） 上述再生（加热）时间是使用自加热功能时的值，是泵不储存氩气等气体时的值。+α是低温泵内部粗加工所需的时间。（根据低真空泵的类型、低温泵中混入的水量等而变化）
*2) 排气量是使用我们专有的方法计算的，接近设备实际安装和使用时的值。
*3) 根据真空装置低温泵上的气体和热负荷，可运行的台数可能无法运行。
*4) 对于两个或多个标有 * 的装置的操作，需要单独的 Eco 装置。
[重要]
出口、转让、废弃时的注意事项
低温泵 P-226C（22 英寸口径）根据外汇及对外贸易法的规定属于需要出口许可的货物类别。向日本国外出口时，需要根据外汇及外贸法进行判断，因此请联系我们的营业部门。另外，在国内搬迁或废弃时，请注意目的地。
业务组合
制造设备
在存储器等集成半导体的布线和晶体管的基板上形成薄膜的半导体器件制造设备；在基板上形成硬盘磁头、磁盘、磁传感器等的薄膜的存储设备。通过提供制造设备和在基板上沉积薄膜以形成 LED 和功率器件等分立半导体的设备，促进社会的发展。
成分
佳能ANELVA提供的部件被包括薄膜制造商在内的制造公司和研发机构用作处理真空技术的设备的重要部件和设备。
佳能ANELVA的真空技术有助于设备和测量设备的稳定性。
维修保养服务
基于与客户的密切沟通，佳能 ANELVA 提供的服务可帮助我们的设备和产品展示并保持高性能。
我们为客户提供最佳的维护服务，包括定期维护、维修、大修、零件清洁和设备改造。
新业务（合同）
我们的制造能力是我们多年培育的真空镀膜技术以及链接制造、生产管理、采购、质量控制的综合实力，为质量、性能提升、成本降低等改进做出贡献。