日本原装CANON-ANELVA佳能POWER系列低温泵P-080CP-081C、CANON-ANELVA佳能POWER系列低温泵P-081CLP-082C无需加热器即可实现安全高速播放POWER启动及稳定性（实用启动特性及温度稳定性）低振动振动加速度的平均值约为传统产品的1/10以下（与本公司相比）半导体制造设备（溅射设备、离子注入设备）电子元件制造设备真空沉积设备真空炉、空间室加速器各种高真空
日本原装CANON-ANELVA佳能POWER系列低温泵P-080C P-081C、CANON-ANELVA佳能POWER系列低温泵P-081CL P-082C
无需加热器即可实现安全高速播放
POWER启动及稳定性（实用启动特性及温度稳定性）
低振动
振动加速度的平均值约为传统产品的1/10以下（与本公司相比）
半导体制造设备（溅射设备、离子注入设备）
电子元件制造设备
真空沉积设备
真空炉、空间室
加速器
各种高真空设备
规格
| 泵型号名称 | P-080C | P-081C | P-081CL | P-082C | P-083C | P-100CL | P-101C | P-101CL | 评论 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 口径 | 8英寸 | 8英寸 | 8英寸 | 8英寸 | 8英寸 | 10英寸 | 10英寸 | 10英寸 | ||
| 形状 | 垂直的 | 垂直的 | 水平的 | 垂直的 | 垂直的 | 水平的 | 垂直的 | 水平的 | ||
| 抽速 （L/S） | 氮 | 1,500 人 | 1,500 人 | 1,500 人 | 1,500 人 | 1,500 人 | 2,400 | 2,400 | 2,400 | |
| 氩气 | 1,300 | 1,300 | 1,300 | 1,300 | 1,300 | 2,000 | 2,000 | 2,000 | ||
| 氢 | 1,000 | 2,500 人 | 2,200 | 1,000 | 1,000 | 3,000 | 3,800 | 3,700 | ||
| 水 | 4,000 | 4,000 | 4,000 | 4,000 | 4,000 | 6,400 | 6,400 | 6,400 | ||
| 最大排气流量 （Pa･m 3 /s） | 1.5 | 1.2 | 1.2 | 1.5 | 1.5 | 1.0 | 1.0 | 1.0 | ||
| 最大气体瞬时容许量 （Pa･m3） | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | ||
| 启动时间（分钟） | 45 | 50 | 65 | 45 | 50 | 80 | 70 | 80 | *1 | |
| 再生（加热）时间（分钟） | 30 | 30 | 30 | 30 | 35 | 40 | 35 | 45 | *1 | |
| 启动播放时间（分钟） | 75+α | 80+α | 95+α | 75+α | 85+α | 120＋α | 105+α | 125+α | *1 | |
| 排气能力 （Pa· m3） | 氩气 | 80,000 | 80,000 | 80,000 | 150,000 | 190,000 | 140,000 | 160,000 | 140,000 | *2 |
| 氢 | 1,300 | 1,800 | 1,600 | 1,300 | 1,300 | 1,300 | 2,000 | 1,800 | ||
| 达到温度(K) | 15 或更少 | |||||||||
| 极限压力（Pa） | 10 -7单位 | |||||||||
| 最高加热温度(℃) | 70 | |||||||||
| 环境温度范围（℃） | 10～35 | |||||||||
| 建议维护时间（h） | 每 16,000 或更少 | |||||||||
| 质量（公斤） | 22 | 22 | 22 | 23 | 24 | 二十五 | 24 | 二十五 | ||
| 可营运车辆数量 （辆） | P-421CA | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | *3 |
| P-875CA | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | *3 | |
| 泵型号名称 | P-120C | P-120CL | P-121C | P-121CL | P-122C | 评论 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 口径 | 12寸 | 12寸 | 12寸 | 12寸 | 12寸 | ||
| 形状 | 垂直的 | 水平的 | 垂直的 | 水平的 | 垂直的 | ||
| 抽速 （L/S） | 氮 | 4,000 | 4,000 | 4,000 | 4,000 | 4,000 | |
| 氩气 | 3,200 | 3,200 | 3,200 | 3,200 | 3,200 | ||
| 氢 | 3,600 | 3,000 | 6,000 | 5,000 | 3,000 | ||
| 水 | 9,000 | 9,000 | 9,000 | 9,000 | 9,000 | ||
| 最大排气流量 （Pa･m 3 /s） | 1.0 | 1.0 | 1.0 | 1.0 | 1.0 | ||
| 最大气体瞬时容许量 （Pa･m3） | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | ||
| 启动时间（分钟） | 60 | 90 | 70 | 100 | 60 | *1 | |
| 再生（加热）时间（分钟） | 35 | 40 | 40 | 50 | 30 | *1 | |
| 启动播放时间（分钟） | 95+α | 130＋α | 110+α | 150＋α | 90+α | *1 | |
| 排气能力 （Pa· m3） | 氩气 | 260,000 | 20万 | 260,000 | 20万 | 40万 | *2 |
| 氢 | 1,600 | 1,400 | 2,400 | 2,200 | 1,600 | ||
| 达到温度(K) | 15 或更少 | ||||||
| 极限压力（Pa） | 10 -7单位 | ||||||
| 最高加热温度(℃) | 70 | ||||||
| 环境温度范围（℃） | 10～35 | ||||||
| 建议维护时间（h） | 每 16,000 或更少 | ||||||
| 质量（公斤） | 29 | 29 | 29 | 30 | 29 | ||
| 可营运车辆数量 （辆） | P-421CA | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | *3 |
| P-875CA | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | *3 | |
*1) 如果不使用POWER系列专用控制电源“CRYONAVI”，或者配备氢蒸气压温度计（G型），则无法使用自加热功能，因此升温时间等会受到影响。低温泵再生所需的时间会更长。（与普通型低温泵相同） 上述再生（加热）时间是使用自加热功能时的值，是泵不储存氩气等气体时的值。+α是低温泵内部粗加工所需的时间。（根据低真空泵的类型、低温泵中混入的水量等而变化）
*2) 排气量是使用我们专有的方法计算的，接近设备实际安装和使用时的值。
*3) 根据真空装置低温泵上的气体和热负荷，可运行的台数可能无法运行。