日本原装CANON-ANELVA佳能离子泵/贵族泵 912-7165
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- 型号： 912-7165
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离子泵和惰性泵在磁场中产生冷阴极放电，将电离的气体分子嵌入阴极，并在与阴极碰撞时溅射阴极材料（Ti），产生活性这是一种进行抽真空的超高真空泵通过不断地创造吸气剂薄膜。
特征 目的 完全无油超高真空及超高真空排气系统 电子显微镜、表面分析装置 粒子加速器、聚变实验装置、空间环境试验装置 电子管等真空保持泵 规格 完全无油 超高真空、超超真空 无人操作 惰性气体抽气（惰性气体泵）成分
特征
由于不使用油等有机物质，因此可以获得清洁的真空而不污染系统。
离子泵和惰性泵的工作压力范围为10 -1 Pa至10 -9 Pa，是产生超高真空的理想选择。
只需用电，方便夜间无人操作和远程控制。
与双极离子泵相比，惰性气体的抽气速度更高（氩气约为空气的 21%）20 L/s 离子泵/贵族泵
名称 20 L/s
离子泵20 L/s
贵族泵型号名称 912-7125 912-7120 抽速
（对于氮气）20升/秒 工作范围（注1） 10 -1至 10 -9 Pa 1 至10-9帕 启动压力（注1） 1.3Pa以下 6.7Pa以下 内部容积 1.4升 最高加热温度 250℃ 进口 φ70ICF 目前介绍终端 不可更换 元件（用于更换） 不可更换 磁铁 912-7121（1 件）包含在主机中 大量的 10.5公斤 
30 L/s 离子泵/贵族泵
名称 30 L/s
离子泵30 L/s
贵族泵型号名称 912-7135 912-7130 抽速
（对于氮气）30升/秒 工作范围（注1） 10 -1至 10 -9 Pa 1 至10-9帕 启动压力（注1） 1.3Pa以下 6.7Pa以下 内部容积 2.2升 最高加热温度 250℃ 进口 φ114ICF 目前介绍终端 954-7281 元件（用于更换） 不可更换 磁铁 912-7121（1 件）包含在主机中 大量的 12.5公斤 
60 L/s 离子泵/贵族泵
名称 60L/S
离子泵60 L/s
贵族泵型号名称 912-7165 912-7160 抽速
（对于氮气）60升/秒 工作范围（注1） 10 -1至 10 -9 Pa 1 至10-9帕 启动压力（注1） 1.3Pa以下 6.7Pa以下 内部容积 6.2升 最高加热温度 250℃ 进口 φ152ICF 目前介绍终端 954-7281 元件（用于更换） 915-7027（1对） 915-9527（1对） 磁铁 912-7121（2 件）包含在主机中 大量的 25.6公斤 
110 L/s 贵族泵/140 L/s 离子泵
泵 名称 110 L/s
贵族泵140 L/s
离子泵型号名称 912-7020 912-7010 抽速
（对于氮气）110升/秒 140升/秒 工作范围（注1） 1 至10-9帕 10 -1至 10 -9 Pa 启动压力（注1） 6.7Pa以下 1.3Pa以下 内部容积 18升 最高加热温度 250℃ 进口 φ203ICF 目前介绍终端 954-7281 元件（用于更换） 915-9520（1件） 915-9510（1件） 磁铁 912-7001（1 件）包含在主体中 大量的 48公斤 
220 L/s 贵族泵
名称 220 L/s 贵族泵 型号名称 912-7040 912-7041 抽速
（对于氮气）220升/秒 工作范围（注1） 5×10 -1 ~ 10 -9帕 启动压力（注1） 3.4Pa以下 内部容积 26升 28升 最高加热温度 250℃ 进口 φ203ICF 目前介绍终端 954-7281 元件（用于更换） 915-9510（2件） 磁铁 912-7002（1 件）
包含在主体中912-7001（2 件）
包含在主体中大量的 85公斤 90公斤 
270升/秒离子泵
名称 220 L/s 贵族泵 型号名称 912-7040 912-7041 抽速
（对于氮气）220升/秒 工作范围（注1） 5×10 -1 ~ 10 -9帕 启动压力（注1） 3.4Pa以下 内部容积 26升 28升 最高加热温度 250℃ 进口 φ203ICF 目前介绍终端 954-7281 元件（用于更换） 915-9510（2件） 磁铁 912-7002（1 件）
包含在主体中912-7001（2 件）
包含在主体中大量的 85公斤 90公斤 
400 L/s 贵族泵/500 L/s 离子泵
名称 400 L/s
贵族泵500L/S
离子泵型号名称 912-7060 912-7050 抽速
（对于氮气）400升/秒 500升/秒 工作范围（注1） 1 至10-9帕 10 -1至 10 -9 Pa 启动压力（注1） 6.7Pa以下 1.3Pa以下 内部容积 38升 最高加热温度 250℃ 进口 φ203ICF 目前介绍终端 954-7281 元件（用于更换） 915-9520（4件） 915-9510（4件） 磁铁 912-7002（2 件）包含在主体中 大量的 120公斤 
800 L/s 贵族泵/1000 L/s 离子泵
名称 800 L/s
贵族泵1000 L/s
离子泵型号名称 912-9110 912-7190 912-9100 912-7195 抽速
（对于氮气）800升/秒 1000升/秒 工作范围（注1） 10 -2至 10 -9 Pa 10 -3至 10 -9 Pa 启动压力（注1） 1.3×10 -1 Pa以下 1.3×10 -2 Pa以下 内部容积 106升 最高加热温度 250℃ 进口 φ326CS
法兰φ356ICF φ326CS
法兰φ356ICF 目前介绍终端 954-7281 元件（用于更换） 912-9520（8件） 915-9510（8件） 磁铁 912-7003（2 件）包含在主机中 大量的 257公斤 名称 20L/S
离子泵20 L/s
贵族泵型号名称 912-7125 912-7120 抽速
（对于氮气）20升/秒 工作范围（注1） 10 -1至 10 -9 Pa 1 至10-9帕 启动压力（注1） 1.3Pa以下 6.7Pa以下 内部容积 1.4升 最高加热温度 250℃ 进口 φ70ICF 目前介绍终端 不可更换 元件（用于更换） 不可更换 磁铁 912-7121（1 件）包含在主机中 大量的 10.5公斤