ASAHI-RIKA旭理化 大型置换炉ARF-151-135-Ⅲ型半导体热处理研究
ASAHI-RIKA旭理化 大型置换炉ARF-151-135-Ⅲ型半导体热处理研究格式ARF-151-135-Ⅲ型样本量25 个 4 英寸晶圆：1 次充电 x炉管尺寸内径φ135×1400mmL×2种使用范围温度室温+100℃～1000℃最高温度最高1200℃浸泡区长度±5℃ 中心部分350mm加热区φ180 250×350×250mmL电容单相AC200V 5.5Kw
- 型号：
ASAHI-RIKA旭理化 大型置换炉ARF-151-135-Ⅲ型半导体热处理研究
| 格式 | ARF-151-135-Ⅲ型 |
| 样本量 | 25 个 4 英寸晶圆：1 次充电 x |
| 炉管尺寸 | 内径φ135×1400mmL×2种 |
| 使用范围温度 | 室温+100℃～1000℃ |
| 最高温度 | 最高1200℃ |
| 浸泡区长度 | ±5℃ 中心部分350mm |
| 加热区 | φ180 250×350×250mmL |
| 电容 | 单相AC200V 5.5Kw |