EST-L6HKP-200H隔振台KURAKA仓敷化工 支持半导体制造设备

EST-L6HKP-200L减振线性主动隔振台KURAKA仓敷化工 EST-L6HKP-200M减振线性主动隔振台KURAKA仓敷化工 EST-L6HKP-200H隔振台KURAKA仓敷化工 支持半导体制造设备性能/特点它几乎不消耗空气。它还可以与小型压缩机一起使用。使用高推力直线电机作为执行器。LH型具有优异的隔振性能，现在可用于减振目的。配备MFF（运动前馈控制）。通过预先输入平台运动信息，可

• 型号： EST-L6HKP-200H