玉崎供应-TAISEI大成技研 气体微粉体除去设备TU-105LMJ

TAISEI大成技研 TRAPPACK气体除粉装置TU-50LM

TAISEI大成技研 TRAPPACK气体除粉装置TU-50LMJ

TAISEI大成技研 TU-65LM气体除粉装置 螺旋结构

TAISEI大成技研 TU-65LMJ气体除粉装置 螺旋结构

TAISEI大成技研 涡流型 气体除粉装置TU-85LM

日本TAISEI大成技研 涡流型 气体除粉装置TU-85LMJ

玉崎供应-TAISEI大成技研 气体粉末除尘设备TU-95LM

玉崎供应-TAISEI大成技研 气体粉末除尘设备TU-95LMJ

玉崎供应-TAISEI大成技研 气体微粉体除去设备TU-105LM

玉崎供应-TAISEI大成技研 气体微粉体除去设备TU-105LMJ

产品列表

气体的粉体除去装置「TRAPPACK」，阵容着要素类型，旋涡类型，组合类型。

元素类型

反应产物（粉体）从元件表面到深层都被捕捉到。采用了捕集自重10倍以上粉体的“老虎包元件”。

涡流型

安装在旋涡结构物（旋涡加工板）中。排气中的反应生成物面向中央，

采用在旋涡旋流中反复吸附捕集碰撞的“旋涡元件”。

组合型

通过采用多层“背包元素”和“漩涡元素”，可以实现两种元素的优点。

TRAPPACK（Uzu型）

这是一种气体除粉装置，是 Trapac 的进一步发展，配备了漩涡型元件。

外观结构 特征 由于螺旋结构，粉末不会长时间经历压力损失 几乎所有粉末都被涡流数和涡流螺距的组合所排除。 粉末分层在安装的涡流元件的表面上。 ・主要用途 / CVD、蚀刻 ・一次元件 / 涡流元件 ・二次元件 / 无 ・安装位置 / 真空、排气

TU-50LM /LMJ (涡流型) 主要用途：蚀刻/CVD 元件类型：ASD-50 涡流 连接尺寸：NW40、NW50 尺寸：□370mm x H707mm 重量：53kg / 68kg

TU-65LM /LMJ (涡流型) 主要用途：蚀刻/CVD 元件类型：ASD-65 涡流 连接尺寸：NW40、NW50 尺寸：□400mm x H1013mm 重量：94kg / 99kg

TU-85LM /LMJ (涡流型) 主要用途：蚀刻/CVD 元件类型：ASD-85 涡流 连接尺寸：NW40、NW50 尺寸：□430mm x H1064mm 重量：100kg / 115kg

TU-95LM /LMJ (涡流型) 主要用途：蚀刻/CVD 元件类型：ASD-95 涡流 连接尺寸：NW40、NW50 尺寸：□485mm x H1064mm 重量：145kg / 160kg

TU-105LM /LMJ (涡流型) 主要用途：蚀刻/CVD 元件类型：ASD-105 涡流 连接尺寸：NW40、NW50 尺寸：□535mm x H1264mm 重量：180kg / 240kg