玉崎供应-TAISEI大成技研 组合型气态除粉装置TU-3100/J
玉崎供应-TAISEI大成技研 TU-1500/J组合型气态除粉装置玉崎供应-TAISEI大成技研 组合型气态除粉装置TU-3100/JTRAPPACK(组合型)TRAPACK的进一步进化,配备组合型元件(涡流型+元件型)的气态除粉装置。外观结构特征去除细小反应产物(细粉)单元密度低,网格空隙大粉末在螺旋和元件部分分层。・主要用途 / CVD、蚀刻 ・一次元件 / 涡流元件・二次元件 / Trap
- 型号: TU-3100/J