TAISEI大成技研

玉崎TU-4100/J-TAISEI大成技研 气态除粉装置 低损压 密度低

玉崎TU-4100/J-TAISEI大成技研 气态除粉装置 低损压 密度低

玉崎供应-TAISEI大成技研 TU-1500/J组合型气态除粉装置玉崎供应-TAISEI大成技研 组合型气态除粉装置TU-3100/J玉崎TU-4100/J-TAISEI大成技研 气态除粉装置 低损压 密度低TRAPPACK（组合型）TRAPACK的进一步进化，配备组合型元件（涡流型+元件型）的气态除粉装置。外观结构特征去除细小反应产物（细粉）单元密度低，网格空隙大粉末在螺旋和元件部分分层。・主

  • 型号： TU-4100/J
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玉崎供应-TAISEI大成技研 TU-1500/J组合型气态除粉装置

玉崎供应-TAISEI大成技研 组合型气态除粉装置TU-3100/J

玉崎TU-4100/J-TAISEI大成技研 气态除粉装置 低损压 密度低


TRAPPACK（组合型）
TRAPACK的进一步进化，配备组合型元件（涡流型+元件型）的气态除粉装置。
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图片关键词
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高性能
去除细小反应产物（细粉）
低压降
单元密度低，网格空隙大
海量收藏
粉末在螺旋和元件部分分层。
图片关键词
・主要用途 / CVD、蚀刻 ・一次元件 / 涡流元件
・二次元件 / Trapak 元件 ・安装位置 / 排气
图片关键词
TU-1500/J
（组合型）		陷阱包： 陷阱包：tu-1500主要用途：蚀刻/CVD
元件类型：HL + 螺旋
端口尺寸：NW40、NW50
尺寸：□370mm x H707mm
重量：49kg / 65kg
图片关键词
TU-3100/J
（组合型）		陷阱包：陷阱包：tu-3100主要用途：蚀刻/CVD
元件类型：IL+涡流
连接尺寸：NW40、NW50
尺寸：□400mm x H1013mm
重量：93kg / 98kg
图片关键词
TU-4100/J
（组合型）		陷阱包：trappack：tu-4100主要用途：蚀刻/CVD
元件类型：KL + 螺旋
端口尺寸：NW40、NW50
尺寸：□430mm x H1064mm
重量：104kg / 147kg
图片关键词
TU-5100/J
（组合型）		图片关键词主要用途：蚀刻/CVD
元件类型：KL + 螺旋
端口尺寸：NW40、NW50
尺寸：□485mm x H1064mm
重量：110kg / 127kg
图片关键词
TU-6100/J
（组合型）		图片关键词主要用途：蚀刻/CVD
元件类型：KL + 螺旋
连接尺寸：NW40、NW50
尺寸：□535mm x H1264mm
重量：160kg / 220kg




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