TORAY东丽 氧气分析仪 MS-500 半导体/电子元件用 日本原装
型号：MS-500能够同时测量多达 8 个点显示范围广泛的浓度，从 ppm 级到 100%最适合安装在半导体制造设备、真空设备等中。直插式传感器（NW 16/25/40 真空法兰）高耐用传感器采用特殊涂层，提高耐用性MS-500规格测量原理氧化锆浓差池类型类型分体式（转换器：壁挂式；传感器：直插式）显示系统4位数字显示（浓度显示）测量范围0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 /
- 型号： MS-500
型号：MS-500
MS-500规格
| 测量原理 | 氧化锆浓差池类型 | ||
|---|---|---|---|
| 类型 | 分体式（转换器：壁挂式；传感器：直插式） | ||
| 显示系统 | 4位数字显示（浓度显示） | ||
| 测量范围 | 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O 2 10 -20～10 -0 atm 自动量程 | ||
| 重复性 | 满量程的±0.5%以内；范围 0-1% 或更大 满量程的 ±1% 或 ±0.1 ppm 以内，以较大者为准；范围小于 0-1% 浓度在 0-1 ppm、atm 范围内不在保修范围内。 | ||
| 测量点数 | 1～8 | ||
| 样气要求 | 压力 | 10 -3～ 200KPa（绝压） | |
| 流量 | 0.5～5,000mL/min或0mL/min(自然分散状态下的测定) | ||
| 湿度 | 露点低于环境温度 | ||
| 温度 | 0至100°C | ||
| 其他的 | 不得含有腐蚀性气体（氟气、氯气、硫磺气体等）、含有有机硅的气体、易燃物质（包括瓦斯）、油或湿气 | ||
| 参比气体 | 气氛 | ||
| 录音机输出 | 仅传输输出 | ||
| 变速输出 | RS-232C | ||
| 报警输出 | 没有任何 | ||
| 热身时间 | 6 分钟或更短 | ||
| 方面 | MS-500(控制器) | 92毫米（宽）×44毫米（高）×120毫米（深）（不包括突出部分） | |
| MS-510(转换器) | 100毫米（宽）×40毫米（高）×88毫米（深）（不包括突出部分） | ||
| 传感器单元 | SD16NW | 总长100mm（传感器⌀11×39，本体⌀40×51） | |
| SD25NW | 总长100mm（传感器⌀11×42，本体⌀40×48） | ||
| SD40NW | 总长100mm（传感器⌀11×41，本体⌀40×49） | ||
| 重量 | MS-500(控制器) | 大约。 0.6公斤 | |
| MS-510(转换器) | 大约。 0.5公斤 | ||
| 传感器单元 | SD16NW | 大约。 0.2公斤 | |
| SD25NW | 大约。 0.2公斤 | ||
| SD40NW | 大约。 0.35公斤 | ||
| 外部连接 | 任何真空法兰（NW16、25 或 40） | ||
| 力量 | 24VDC±10% | ||