COSMOS新宇宙 气体检测装置 PS-7 固定式半导体材料气体检测单元
COSMOS新宇宙 气体检测装置 PS-7 固定式半导体材料气体检测单元COSMOS新宇宙 气体检测装置 PS-7 固定式半导体材料气体检测单元特征带传感器单元更换方法的固定式半导体材料气体检测单元交付了经过校准的传感器单元，可以在现场更换，从而无需进行现场气体校准。兼容NF 3检测兼容Modbus (RS-485/以太网) (PS-7-M) *以太网通讯支持PoE符合CE和SEMI标
- 型号： PS-7
COSMOS新宇宙 气体检测装置 PS-7 固定式半导体材料气体检测单元
COSMOS新宇宙 气体检测装置 PS-7 固定式半导体材料气体检测单元
特征
带传感器单元更换方法的固定式半导体材料气体检测单元
交付了经过校准的传感器单元，可以在现场更换，从而无需进行现场气体校准。
兼容NF 3检测
兼容Modbus (RS-485/以太网) (PS-7-M) *以太网通讯支持PoE
符合CE和SEMI标准
目的
用于半导体工厂的半导体材料气体泄漏检测
◆便携式（可更换传感器单元）半导体材料气体检测单元 XPS-7II
◆便携式半导体材料气体检测仪 XP-703DIII
◆无线转换器，使信号布线无线化 WC-7L
规格
目标气体 半导体材料气体、氢气、氧气 检测原理 半导体材料气体：恒电位电解式
氢气：热线式半导体式
氧气：原电池式抽气法 自动吸风式 检测范围 取决于规格 警报 [报警设定值]
取决于规格
[报警方式]
红色 LED 灯闪烁
LCD 屏幕 第一阶段：ALARM1 第二阶段：ALARM1、ALARM2 显示尺寸 W62 x H124 x D143mm（不包括选件和突出部分） 大量的 约1.0公斤 使用温度和湿度范围 0°C 至 40°C（无突变）、30 至 85%RH（无凝结） 使用电源 DC24V±10% 能量消耗 约7W 外部输出 ・气体浓度模拟输出 DC4-20mA（与电源共负）
・气体警报接点（第 1 级、第 2 级） 1a 无电压接点/自动返回
・故障警报接点（集电极开路/自动返回）