LS300A 螺杆式干式真空泵 ULVAC爱发科

特征

• 接近大气压的抽速可达80m3 ^/ h，抽气时间比传统真空泵可减少20%左右。

• 标准安装的专用消音器消除了干式真空泵特有的噪音问题。极限压力下的噪音值低于 61 dB(A)，在操作过程中不会对您造成干扰。 (*1)

• ECO-SHOCK 技术是 C 规范的标准，是 ULVAC 的专有节能技术。极限压力下的功耗可降低至0.6kW以下。 (*2)

• LS系列不需要轴封气体。主要排放氮气和空气的清洁工艺可以降低运行成本。 (*3)

• 对于那些希望进一步提高抽速的人，我们建议将其与机械增压泵结合使用。通过组合它们，可以达到120至1200m ^{3 /h。}

(*1) LS120A-C 时　
(*2) C 规格时　
(*3) L 规格时，也可流通吹扫气体

目的

C 规格: 洁净工艺 (LS***AC)
　特点 : 内置 ECO-SHOCK 的低功耗型
　用途 : 排气、N ₂排气等洁净排气、溅射 / 蒸镀 / 层压 / 负载锁定室 / TMP 援助 此类

L 规格：轻工艺（LS***AL）
　特点：具有表面处理和吹扫功能的轻工艺类型
　应用：用于轻工艺，如蒸汽和挥发性化学废气、真空干燥/冷冻干燥/灰化/一般工业应用等。