ULVAC爱发科 多级式干式真空泵 ES4A 低功耗型
ULVAC爱发科 多级式干式真空泵 ES4A 低功耗型ULVAC爱发科 多级式干式真空泵 ES4A 低功耗型ECO-SHOCK是一种创新附件，通过将其连接到您当前的干式真空泵，可以显着节省能源。特征有助于节能 干式真空泵的功耗可降低80%（与本公司相比）。还具有抑制干泵发热的效果，可降低功耗的空调设备。 *不能用于用于排出易燃、可燃或有毒气体的泵。干泵性能得到改善预期极限压力性能得到改
- 型号： ES4A
ULVAC爱发科 多级式干式真空泵 ES4A 低功耗型
ULVAC爱发科 多级式干式真空泵 ES4A 低功耗型
ECO-SHOCK
是一种创新附件，通过将其连接到您当前的干式真空泵，可以显着节省能源。
是一种创新附件，通过将其连接到您当前的干式真空泵，可以显着节省能源。
特征
有助于节能 干
式真空泵的功耗可降低80%（与本公司相比）
。还具有抑制干泵发热的效果，可降低功耗的空调设备。
*不能用于用于排出易燃、可燃或有毒气体的泵。干泵性能得到改善
预期极限压力性能得到改善 可以
降低排气噪音 可以
降低所有压力范围内的抽速 在
1000 Pa 以下连续运行时间较长的应用中非常有效
*即使排气口被抽真空 也可以安装在干泵上没有任何问题。易于安装
用途
干式真空泵用于抽除空气、氮气、氩气等惰性气体。
干式真空泵用于溅射等装卸室。
规格
| 模型 | ES10 | ES4A | |||
| 电源 | 规格 | 单相AC100V-220V 50/60Hz | 单相AC200V~220V±5% 50/60Hz | ||
| 消费电量 | 65W*1 | 400W | |||
| 控制 | 输入 | 远程启动/停止（触点：24V DC 电压） 触点容量：请准备容量为 2.0A 或以上的无电压触点。 *2 | |||
| 输出 | 过流报警输出（接点、无电压） 接点容量：DC24V 1.0A | 启动确认、节能确认、主机报警、 过流报警 | |||
| 表示 | 显示行驶时间 | 运行时间、启动确认、节能确认、 主机报警、过流报警 | |||
| 外形尺寸 | 主机 | 175毫米×330毫米×240毫米 | 250毫米×475毫米×373毫米 | ||
| 阀门单元 | Φ66mm×110mm(NW40)*3 | 这是一个选项。 | |||
| 质量 | 主机：9.2kg 阀门单元：800g | 32公斤 | |||
| 联系 | 连接端口 | 安装G1/4"（入口、出口）连接器 | Φ16mm管接头 （建议1.5m以下） | ||
*1：干泵使用的工艺气体和吹扫气体0Pam3/s *2：手动启动/停止ES4A时， 可以
通过跳动控制连接器上的PIN来打开/关闭电路保护器。 *3：ES10标配阀门单元。
效果示例
ES4A
| 我们的泵型号 | LR1800 | LR3601-R | ||
| 排气速度*1 | 机械增压泵 | 1784立方米/小时（29700升/分钟） | 3200立方米/小时（53333升/分钟） | |
| 干泵 | 237立方米/小时（3950升/分钟） | 440立方米/小时（7333升/分钟） | ||
| 平均消费电力 *2 *3 | 在极限压力下运行 | 没有任何 | 6.0千瓦 | 7.8千瓦 |
| 当包含 ES4A 时 | 2.7千瓦 | 3.2千瓦 | ||
| 削减率 | 55% | 59% | ||
| 反复排气时*4 | 没有任何 | 7.2千瓦 | 9.6千瓦 | |
| 当包含 ES4A 时 | 5.7千瓦 | 6.3千瓦 | ||
| 削减率 | 21% | 34% | ||
*1 电源频率 60 Hz
*2 密封气体 5SLM
*3 包括 ECO-SHOCK ES4A 的功耗
*4 300L 腔室重复排气 60 秒节拍的测量示例
ES10
| 型号名称 | LR60 | LR90 | LR180 |
| 排气速度*1 | 1300升/分钟 | 2100升/分钟 | 3980升/分钟 |
| 实际功耗*2 | 2.1千瓦 | 3.6千瓦 | 6.6千瓦 |
| 安装 ECO-SHOCK 时的实际功耗*3 *4 | 0.7千瓦 | 1.0kW | 1.6千瓦 |
| 电力削减率 | 67% | 72% | 76% |
*1 电源频率 60Hz
*2 功耗为极限压力下的典型值
*3 包括 ECO-SHOCK 的功耗
*4 密封气体和气体流量为 0 Pa m3/s 时。它根据密封气体和气阀的流量而变化。