ULVAC爱发科 风冷型排气单元 VFR-200M/X 小型高真空排气装置
ULVAC爱发科 风冷型排气单元 VFR-200M/X 小型高真空排气装置ULVAC爱发科 风冷型排气单元 VFR-200M/X 小型高真空排气装置在管架上紧密安装了主泵、辅助泵、电力系统、压力测量口等必要机器的小型高真空排气装置。DEPOX系列有不同排气系统构造的4个类型。使用简单、最适合用于实验。特長可以在不停止主泵的情况下打开真空室。使用三通阀，组件更少，维修更容易。真空计等配件
- 型号： VFR-200M/X
ULVAC爱发科 风冷型排气单元 VFR-200M/X 小型高真空排气装置
ULVAC爱发科 风冷型排气单元 VFR-200M/X 小型高真空排气装置
在管架上紧密安装了主泵、辅助泵、电力系统、压力测量口等必要机器的小型高真空排气装置。
DEPOX系列有不同排气系统构造的4个类型。
使用简单、最适合用于实验。
DEPOX系列有不同排气系统构造的4个类型。
使用简单、最适合用于实验。
特長
可以在不停止主泵的情况下打开真空室。
使用三通阀，组件更少，维修更容易。
真空计等配件可以存放在同一个架台上。
空冷型，不需要冷却水。
带有轮子，易于移动。
配有调节器，可以确保安装的安全性。
规格
| 型号 | VPC-053 |
极限压力 | 7.0×10-４Pa 1.5×10-４Pa（使用液氮时） |
主泵 | 油扩散泵（空冷） 50 L/sec |
辅助泵 | 油回转真空泵 20 L/min |
メイン阀门 | 25A蝶阀 |
辅助阀门 | 三通阀 |
吸气口 | VG-25 |
重量 | 20kg |
最大尺寸 （W×D×H） | 350mm(W)×320mm(D)×461mm(H) |
※电离真空计・皮拉尼真空计・液氮阱・吸气法兰・油雾阱可选
效用
| 型号 | VPC-051 |
所需电力 | 单相 100V 0.63kVA |
接地端子 | Ｄ种 （接地电阻值／100MΩ以下） |
安装 | 乙烯基电缆（带插头） 2m |
油扩撒泵
| 型 式 | DPF-200 |
极限压力 | 10-5Pa |
最大排气速度 | 200L/sec |
临界背压 | 20Pa |
所要電力 | 单相 100V 0.45kW |
使用油 | SX 70cc |
质量 | 5kg |
吸气法兰 | VG-65 |
排气管 | Φ27mm |
冷却方式 | 空冷 |