ULVAC爱发科 残留气体分析仪 高灵敏度型 HGM2-302
ULVAC爱发科 残留气体分析仪 高灵敏度型 HGM2-302ULVAC爱发科 残留气体分析仪 高灵敏度型 HGM2-302Qulee HGM2是ULVAC新推出的Qulee系列残留气体分析仪（支持以太网通讯）的高端机型，在简单易用方面具有革命性意义。实现2.5×10 -6 A/Pa（法拉第杯）的高灵敏度，满足从各种研发应用到真空设备过程控制的所有需求。特点测量质量范围 1～300 a
- 型号： HGM2-302
ULVAC爱发科 残留气体分析仪 高灵敏度型 HGM2-302
ULVAC爱发科 残留气体分析仪 高灵敏度型 HGM2-302
Qulee HGM2是ULVAC新推出的Qulee系列残留气体分析仪（支持以太网通讯）的高端机型，在简单易用方面具有革命性意义。
实现2.5×10 -6 A/Pa（法拉第杯）的高灵敏度，满足从各种研发应用到真空设备过程控制的所有需求。
特点
测量质量范围 1～300 amu
各种研究和开发应用的理想选择 - 实现作为高端功能的最高感光度∀2.5×10-6A/Pa
通讯接口 - 支持以太网通讯
显示部分一体化的设计 无需电脑也可进行测量
操作简单 - One Click机能（对每个人来说都很容易，不需要复杂的操作）
烘焙兼容 - 连接传感器单元时可进行高达 250°C 的高温烘烤（传感器单元断开时：300°C）
搭载DEGAS功能 - 采用电子冲击脱附法
维护 - 易于更换灯丝、离子源和二次电子倍增器
增强预防性维护功能 - 离子源和二次电子倍增器的预防性维护,配备分析管溯源功能（专利第5016031号）
增强检漏功能 - 能够进行氦气泄漏测试、空气泄漏测试和累积测试
可以测量总压力
标准搭载Qulee QCS软件
符合CE
用途
热脱附分析等各种研究开发
超高/超高真空抽气设备的残余气体分析等。
气体中痕量杂质的测量
与太阳能电池相关的研发
有机分析
环境测量
规格
| Model | HGM2-202 | HGM2-302 | ||
| Mass filter type | Quadrupole | |||
| Mass range | 1 ~ 200 amu | 1 ~ 300 amu | ||
| Resolution | M/ ΔM=1M(10% P.H.) | |||
| Detector type | Faraday cup | SEM | Faraday cup | SEM |
| Sensitivity | 2.5×10-6 A/Pa @1.0A/Pa | 4 A/Pa | 2.0×10-6 A/Pa @1.0A/Pa | 4 A/Pa |
| 3.3×10-4 A/Torr | 533 A/Torr | 3.3×10-4 A/Torr | 533 A/Torr | |
| 2.5×10-4 A/mbar | 400 A/mbar | 2.5×10-4 A/mbar | 400 A/mbar | |
| Minimum datectable partial pressure | Approx. 10-9Pa | Approx. 10-13Pa | Approx. 10-9Pa | Approx. 10-13Pa |
| Approx. 7.5×10-12 Torr | Approx. 7.5×10-16 Torr | Approx. 7.5×10-12 Torr | Approx. 7.5×10-16 Torr | |
| Approx. 1×10-11 mbar | Approx. 1×10-12 mbar | Approx. 1×10-11 mbar | Approx. 1×10-12 mbar | |
| Maximum operating pressure | 1×10-2 Pa | |||
| 7.5×10-3 Torr | ||||
| 1×10-4 mbar | ||||
| Filament | lr / Y2O3 , 2pcs | |||
| Ionizing voltage | 25 ~ 70 eV(defalut:70eV) | |||
| Emission current | 0.1mA/0.5mA/1.0mA(default:0.5mA) | |||
| DEGAS | Electron bombard type 330V, 5mA | |||
| Total pressure function | Capable / 10-2 ~ 10-5Pa | |||
| "One Click" function | Capable / He / H2O / N2 / O2 / Any gas | |||
| "One Click" leak test function | Capable | |||
| Power input | DC24V±10% 50W | |||
| Weight(sensor unit / sensor) | 2.4kg/0.81kg | |||
| Maximum sensor operating temperature | 250℃(482°F) | |||
| Maximum bakeout temperature (elsectronisc removed) | 300℃(572°F) | |||
| Operating temperature range | 10 to 40℃(50 to 104°F) | |||
| Operating humigity range | 15 ~ 80%(not condensing) | |||
| IP rating | IP30(sensor unit) | |||
| Power connector | MSTBV2.5/3-STF-5.08 | |||
| Communication interface | Ethernet compatible | |||
| External input / output connector | D-sub15-pin (M2.6 screw)(eith option) | |||
| Communication connector | RJ45 | |||
| External input / output signal | Analog input (0 to 10V)×2,External interlock input (pressure protection)×1,Error output ×1(FIL,SEM,RF,fault),Partial pressure setpoint output ×2(fault,alarm),Total pressure setpoint output ×1 | |||
| Software | Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11）适用 | |||
| Standard accessories | Power connector, LAN cable (3m long),Software (install CD),Instruction manual (CD) | |||
| Option accessories (cf. Qulee optional catalogue) | LAN cable (10,15,20,30,50m long), AC power adapter, USB-LAN adapter, Switing hub(8ports or 16ports), Input / output connector, Jacket heater, Carry case | |||
| Applicable standard | CE | |||