ULVAC爱发科 UNECS-1M 小型分光椭偏仪 薄膜膜厚/折射率测量用
ULVAC爱发科 UNECS-1M 小型分光椭偏仪 薄膜膜厚/折射率测量用ULVAC爱发科 UNECS-1M 小型分光椭偏仪 薄膜膜厚/折射率测量用UNECS系列是可以高速、高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪。采用独特的测量方式，实现了高速测量和机体的小型化。我们的产品阵容包括独特的便携式，自动式和对应真空环境的设备内置式类型。UNECS-1M的传感器单元轻量、紧凑，能够简单嵌入成
- 型号： UNECS-1M
ULVAC爱发科 UNECS-1M 小型分光椭偏仪 薄膜膜厚/折射率测量用
ULVAC爱发科 UNECS-1M 小型分光椭偏仪 薄膜膜厚/折射率测量用
UNECS系列是可以高速、高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪。
采用独特的测量方式，实现了高速测量和机体的小型化。
我们的产品阵容包括独特的便携式，自动式和对应真空环境的设备内置式类型。
UNECS-1M的传感器单元轻量、紧凑，能够简单嵌入成膜设备等。
除了通常的大气压类型以外，也有对应真空环境的类型。
采用独特的测量方式，实现了高速测量和机体的小型化。
我们的产品阵容包括独特的便携式，自动式和对应真空环境的设备内置式类型。
UNECS-1M的传感器单元轻量、紧凑，能够简单嵌入成膜设备等。
除了通常的大气压类型以外，也有对应真空环境的类型。
特点
高速測定：
独特的快照方法可实现高达20 ms的高速测量。适用于可见光谱：
波长范围可选标准类型（530nm至750nm）和可见光谱类型（380nm至760nm）。紧凑型传感器单元：
光发射和接收的传感器仅由没有旋转机构的光学部件组成，因此非常轻且紧凑，并且不需要定期维护。丰富的产品阵容：
产品阵容应用广泛，包括如独特的便携类型，手动/自动平台类型，大型基板类型，以及支持大气/真空环境的内置类型。
用途
透明或半透明薄膜（氧化膜，氮化膜，抗蚀剂，ITO等）的膜厚，折射率，消光系数的测量
规格
| 波长范围 | 530～750nm、380～760nm（选择） | |
| 点径 | Φ1mm、Φ0.3mm（选择） | |
| 入射角度 | 70o固定 | |
| 膜厚再现性 | 1σ = 0.1ｎｍ | |
| 膜厚范围 | 1nｍ～2μｍ | |
| 测量时间 | 受光：20ms ～ 3000ms 演算：300ms | |
| 设置环境 | 大气、真空（选择） | |
| 机器构成 | 测量头、控制器BOX、光源单元、使用说明书（CD）、解析软件（CD） ＊控制PC不含在标准中 | |