ULVAC爱发科 大容量直流电源 DC-20-H-AM 斜坡射用电源
ULVAC爱发科 大容量直流电源 DC-20-H-AM 斜坡射用电源 ULVAC爱发科 大容量直流电源 DC-20-H-AM 斜坡射用电源
- 型号： DC-20-H-AM
ULVAC爱发科 大容量直流电源 DC-20-H-AM 斜坡射用电源
ULVAC爱发科 大容量直流电源 DC-20-H-AM 斜坡射用电源
DC-10和DC-20是10kW及20kW输出功率的斜坡射用直流电源。它由可靠的部件和电路组成。它
是负载负载的最佳可靠电源，其设计反映了包括电源应用内部的多年积累的专业知识。
是负载负载的最佳可靠电源，其设计反映了包括电源应用内部的多年积累的专业知识。
特点
轻量・省空间
轻量・省空间的设计，安装简单输出电压范围可选
除800V规格外，还提供1000V规格。丰富的电弧处理
丰富的电弧控制系统。不需要冷却水
强制空冷系统，不需要冷却水。安装可以安装可选的高速电流中断
电路，实现标准的低电弧能量。此外，可以安装可选的高速电流中断电路。自由的并联操作功能
DC-10，DC-20：可选的并联运行功能允许自由组合10kW和20kW，并联运行多达12个单元。（最高240kW）
用途
FPD用溅射设备
半导体用溅射设备
触摸屏用溅射设备用
工业涂层用溅射设备
规格
| 模型 | DC-10-AM | DC-10-H-AM | DC-10-4-AM | DC-20-AM | DC-20-H-AM | DC-20-4-AM | |
| 输入规格 | 额定输入电压 | 三相 187 至 229VAC | 三相 AC342 至 440V | 三相 187 至 229VAC | 三相 AC342 至 440V | ||
| 输入容量 | 13.5kVA以下 | 25kVA以下 | |||||
| 输出规格 | 最大额定功率 | 10千瓦 | 20千瓦 | ||||
| 额定电流 | 25A | 18A | 25A | 50A | 40A | 50A | |
| 额定电压 | -800V | -1000V | -800V | -800V | -1000V | -800V | |
| 点火电压 | -1500V | ||||||
| 异常放电控制 | 检测到异常放电时，通过变频器停止或高速电弧切断电路*1进行切断 | ||||||
| 控制 | 控制方式 | 恒功率控制（P控制）/恒流控制（I控制）/恒压控制（V控制） | |||||
| 控制精度 | 恒功率控制（P控制）：额定输出的±0.5%以下或设定值的±1％，以较大者为准。 恒流控制（I Control）：额定输出的±1％以下或设定值的±2％，以较大者为准。 恒压控制（V Control）：额定输出的±1％以下或设定值的±2％，以较大者为准。 | ||||||
| 控制保修范围 | 恒功率控制，额定功率值的10～100％ | ||||||
| 外部接口 | 模拟/数字，RS-232C 或 485 | ||||||
| 并联运行 | 主/从通讯最多可控制12台 | ||||||
| 冷却方式 | 强制风冷 | ||||||
| 尺寸 宽×深×高 | 483×630×133mm（不含突出部分） | ||||||
| 重量 | 29公斤 | 36公斤 | |||||
| 适用标准 | CE/ SEMI F47/ RoHS | ||||||