ULVAC爱发科 大容量直流电源 DC-30-44H-E 高阻抗规格溅射用电源ULVAC爱发科 大容量直流电源 DC-30-44H-E 高阻抗规格溅射用电源是30kW高阻抗规格溅射用直流电源。特点通过电流弧中断回路实现超低电流弧能量。有助于提高高速生产力和产量。1200V输出，可对应高阻抗负载。支持EtherCAT，有助于减少设备的布线。用途FPD用溅射设备半导体用溅射设备触摸屏用溅射
ULVAC爱发科 大容量直流电源 DC-30-44H-E 高阻抗规格溅射用电源
ULVAC爱发科 大容量直流电源 DC-30-44H-E 高阻抗规格溅射用电源
通过电流弧中断回路实现超低电流弧能量。有助于提高高速生产力和产量。
1200V输出，可对应高阻抗负载。
支持EtherCAT，有助于减少设备的布线。
FPD用溅射设备
半导体用溅射设备
触摸屏用溅射设备用
工业涂层用溅射设备
| 模型 | DC-30-44H-E | |
| 输入规格 | 输入电压 | 三相交流 396 至 484V |
| 输入容量 | 41.5kVA以下 | |
| 输出规格 | 额定功率 | 30千瓦 |
| 额定电流 | 55A | |
| 额定电压 | -1200V | |
| 点火电压 | -1500V | |
| 异常放电控制 | 检测到异常放电时，停止逆变器或通过高速电弧切断电路切断 | |
| 控制 | 控制方式 | 额定功率控制 (P Control ) 额定电流控制 (I Control ) 额定电压控制 (V Control ) |
| 控制精度 | P控制：小于额定输出的±0.5％或设定值的±1％，以较大者为准。 I控制：小于额定输出的±1％或设定值的±2％，以较大者为准。 V控制：小于额定输出的±1％或设定值的±2％，以较大者为准。 | |
| 控制保证范围 | 额定功率值的10～100％ | |
| 外部接口 | RS-232C 或 485、EtherCAT | |
| 并联运行 | 最多 12 台 | |
| 冷却方式 | 强制风冷 | |
| 尺寸 宽×深×高 | 483×650×177mm（不含突出部分） | |
| 重量 | 45公斤 | |
| 适用标准 | CE/ SEMI F47/ RoHS | |