ULVAC爱发科 电弧蒸发源 APS-1
ULVAC爱发科 横振动型内部摩擦测量装置 APS-1ULVAC爱发科 横振动型内部摩擦测量装置 APS-1同时蒸发不同的“蒸发材料”。通过将本蒸发源增设在已存在的电弧等离子法纳米粒子形成装置APD系列和手持式真空腔体中，可以同时蒸发不同的“蒸发材料”，生成具有新特性的材料。特点纳米颗粒的尺寸比传统的湿法更均匀，因此能够生产高活性催化剂纳米颗粒尺寸约1.5nm至6nm任选通过改变环境可以很
- 型号： APS-1
ULVAC爱发科 电弧蒸发源 APS-1
ULVAC爱发科 电弧蒸发源 APS-1
同时蒸发不同的“蒸发材料”。
通过将本蒸发源增设在已存在的电弧等离子法纳米粒子形成装置APD系列和手持式真空腔体中，可以同时蒸发不同的“蒸发材料”，生成具有新特性的材料。
通过将本蒸发源增设在已存在的电弧等离子法纳米粒子形成装置APD系列和手持式真空腔体中，可以同时蒸发不同的“蒸发材料”，生成具有新特性的材料。
特点
纳米颗粒的尺寸比传统的湿法更均匀，因此能够生产高活性催化剂
纳米颗粒尺寸约1.5nm至6nm任选
通过改变环境可以很容易地产生氧化物和自然资源
如果有与ICF 070（VG 50）相当的法兰，无论哪个方向都可以安装
消费水冷设备，方便维护
用途
多种蒸发源化合物的生成
添加到现有的真空室
规格
| 目标尺寸 | Φ10mm×长17mm |
|---|---|
| 基材尺寸 | Φ2英寸（Φ50毫米） |
| 沉积率 | 0.01纳米/秒～0.3纳米/秒*1 |
| 膜厚均匀性 | Fe：<±10%（Φ20mm面积）*1 |
| 可用于沉积的材料 | 导电材料*2 |
＊1 靶材到基板的距离：80mm
＊2 靶材电阻率：0.01Ωcm以下
电弧等离子体源（APS）示意图
公用事业
系统图
1. 聚光箱：W110 x D320 x H200 (mm)
2. 真空室内APS本体：Φ34 x L200 (mm)
3. 电源单元：W200 x D360 x H200 (mm)
4. 控制器：W240 x D400 x高200（毫米）
※将电源单元和控制器放置在机架上。
APS 制备的纳米颗粒的 TEM 图像
（左起）
沉积在碳粉上分散良好的 Pt 纳米颗粒上的 Pt 纳米颗粒的 TEM 图像。基底上 Pt 纳米粒子的 TEM 图像
随着电弧等离子体发射脉冲数的增加，纳米粒子的尺寸变得更大。Pt 薄膜的 TEM 图像
极薄的 Pt 薄膜是由纳米颗粒堆叠而成。
安装APS的沉积系统照片
示例 1：带 APS 的溅射系统
示例 2：配备一台 APS(APD-1P) 的电弧等离子沉积系统