ELIONIX 玉崎 一件代发 电子束边缘分析装置ERA-nanoR
ELIONIX 玉崎 一件代发 电子束边缘分析装置ERA-nanoR 高分辨率系统标准体系解决 1.2nm (30kV) 5nm (1kV) 3.5纳米（35kV）电子枪ZrO/W热场发射型预居中钨加速电压0.3至30kV 0.3至35kV放大 20至60万次 10至40万次探测器 4个二次电子探测器，1个4ch背散射电子探测器图像观察差信号不均匀性-增强二次电子图像、和信号合成-增强二
- 型号：
ELIONIX 玉崎 一件代发 电子束边缘分析装置ERA-nanoR
| 高分辨率系统 | 标准体系 | ||||||
| 解决 | 1.2nm (30kV) 5nm (1kV) | 3.5纳米（35kV） | |||||
| 电子枪 | ZrO/W热场发射型 | 预居中钨 | |||||
| 加速电压 | 0.3至30kV | 0.3至35kV | |||||
| 放大 | 20至60万次 | 10至40万次 | |||||
| 探测器 | 4个二次电子探测器，1个4ch背散射电子探测器 | ||||||
| 图像观察 | 差信号不均匀性-增强二次电子图像、和信号合成-增强二次电子图像、正常二次电子图像、背散射电子图像 | ||||||
| 图像格式 | BMP、JPG、TIFF、PNG | ||||||
| 观察监视器 | 27寸液晶屏 | ||||||
| 自动功能 | 对比度、亮度、焦点、污点 | ||||||
| 样本量 | 请联系我们了解样品尺寸 （样品示例：Φ150 x H30、L250 x W50 x H30mm、8 英寸 Φ 等）。 | ||||||
| 舞台驱动器 | X、Y、Z、R、T | ||||||
| 样品移动范围 | X：0 至 50 毫米 Y：0 至 155 毫米 | ||||||
| Z：4至36毫米 | Z：8至40毫米 | ||||||
| R：360度连续无尽 | |||||||
| 温度：-7 至 +70° | |||||||
| 排气系统 | 涡轮分子泵、油回转泵、离子泵 | 涡轮分子泵、油回转泵 | |||||
| Z方向分辨率 | 1纳米 | ||||||
| 测量点数 | 直线测量（X 和 Y 方向）：最多 32,767 点，3D 测量：最多 4,800 x 3,600 点 | ||||||
| 长度测量功能 | X、Y、Z 方向两点之间的距离和倾斜角度 | ||||||
| 表面纹理 分析功能 | 鸟瞰图、等高线图、峰数、晶粒尺寸、面积比、JIS标准粗糙度参数 | ||||||
| 边缘分析功能 | 切削刃分析、曲率半径分析、棱线分析、形状误差分析 | ||||||