TOKKYOKIKI特许机器δTA-56台式主动隔振台 δTA

TOKKYOKIKI特许机器台式主动隔振台 δTA TOKKYOKIKI特许机器δTA-56台式主动隔振台 δTA台式主动隔振台 δTA一种不需要空气的紧凑型主动隔振器。从低频到高频均具有优异的隔振性能。特征垂直方向（Z）、两个水平方向（X、Y）和每个旋转方向有6个自由度的主动控制。无论安装设备的重量（平均负载 0 至 100 kg）和重心位置如何，都能发挥稳定的隔振效果。配备自动调平机构，启动时

型号：

TOKKYOKIKI特许机器台式主动隔振台 δTA TOKKYOKIKI特许机器δTA-56台式主动隔振台 δTA

台式主动隔振台 δTA

一种不需要空气的紧凑型主动隔振器。从低频到高频均具有优异的隔振性能。

特征

垂直方向（Z）、两个水平方向（X、Y）和每个旋转方向有6个自由度的主动控制。
无论安装设备的重量（平均负载 0 至 100 kg）和重心位置如何，都能发挥稳定的隔振效果。
配备自动调平机构，启动时感应已安装设备的重心，自动调节最佳控制平衡。
通过消除可能产生灰尘的部件，兼容洁净室使用。
面板采用VFD（荧光显示管），视角宽，观看方便。它还具有用于暗室的光源开/关功能。

目的

AFM（原子力显微镜）、SPM（扫描探针显微镜）。
激光显微镜、激光干涉仪。
显微硬度计。
其他各种精密精密测量仪器。

振动传递特性

规格

模型	δTA-56
控制方式	6自由度反馈控制
隔振台外形尺寸（宽×深×高mm）	500×600×92
面板尺寸（宽×深mm）	500×600
产品质量（公斤）	31
负载能力值（kg）	100
电源	单相AC100-200V（50/60Hz）

TOKKYOKIKI特许机器株式会社

TOKKYOKIKI特许机器δTA-56台式主动隔振台 δTA

台式主动隔振台 δTA

特征

目的

振动传递特性

规格