TOKKYOKIKI特许机器台式隔振工作台EHS-68/EHS-78/EHS-87/EHS-107
台式隔振工作台EHS/DHS/DAS/SRD/SVD
半导体工业和其他超精密加工领域的制造、检验和测量的精度正在提高到纳米和埃。这是一系列准确捕捉这个时代需求并提供超细微振动的隔离空间的OS浮动办公桌。
由于半导体和液晶基板的直径和基板尺寸变大，检查设备的尺寸和重量不断增加，我们拥有丰富的产品阵容。
该系统设计简单，与生产检测线相匹配，多种选项可让您完美地配置系统。
EHS/DHS 规范
台式隔振工作台EHS
针对超精密检查/测量设备的高性能隔振台
EHS-68（带下层架）
| 模型 | EHS-68 | EHS-78 | EHS-87 | EHS-107 |
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隔振台外形尺寸
（W×D×Hmm） | 600×800
×750 | 700×800
×750 | 800×700
×750 | 1,000×700
×750 |
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| 产品重量（公斤） | 170 | 190 | 190 | 220 |
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| 允许装载重量（kg） | 120 |
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| 隔振方法 | 空气弹簧和摆动球支撑方法 (PAT .P/USP) |
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| 固有频率（赫兹） | 垂直方向 1.6 至 2.2 水平方向 1.2 至 1.8 |
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| 调平 | 采用机械阀自动调平方式：供给压力0.4Mpa |
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| 浮子部分 | SUS304抛光处理 |
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| 选项 | 工作罩、抗震固定硬件、下层搁板 |
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| 其他的 | 可在洁净室内使用（具有中央排风系统和防静电接地功能）
符合RoHS指令 |
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台式隔振工作台DHS
DHS系列是EHS系列中包含工作罩的型号。您可以不用担心接触浮动部分而工作。
DHS-68（带下层架）
| 模型 | 国土安全局-68 | 国土安全部78 | DHS-87 | DHS-107 |
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隔振台外形尺寸
（W×D×Hmm） | 650×850
×750 | 750×850
×750 | 850×750
×750 | 1,050×750
×750 |
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| 产品重量（公斤） | 175 | 195 | 195 | 225 |
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| 允许装载重量（kg） | 120 |
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| 隔振方法 | 空气弹簧和摆动球支撑方法 (PAT .P/USP) |
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| 固有频率（赫兹） | 垂直方向 1.6 至 2.2 水平方向 1.2 至 1.8 |
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| 调平 | 采用机械阀自动调平方式：供给压力0.4Mpa |
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| 浮子部分 | SUS304抛光处理 |
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| 选项 | 抗震固定支架、下层架 |
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| 其他的 | 可在洁净室内使用（具有中央排风系统和防静电接地功能）
符合RoHS指令 |
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EHS/DHS 特点
水平隔振机构采用“SBM机构”（PAT.P/USP）。在水平方向上实现低特征值。现在，无论安装设备的重量如何，都可以保持水平固有频率几乎恒定。
我们已将 Swing Ball (SBM) 机构商业化，这是一种通过主动隔振培育出的独特隔振技术，已转化为新型紧凑型空气弹簧。通过采用这种 SBM 机构，我们能够抑制传统空气弹簧难以实现的滚动模式。此外，结合优化设计的底座，可以在较宽的频率范围内可靠地隔离振动，从而最大限度地提高所安装设备的性能。
新型空气弹簧
DAS/SRD/SVD 规格
台式隔振工作台 DAS
支持光学显微镜/粗糙度计等大负载的装载。
DAS-68（带下层架）
| 模型 | DAS-68 | DAS-78 | DAS-87 | DAS-107 |
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隔振台外形尺寸
（W×D×Hmm） | 650×850
×750 | 750×850
×750 | 850×750
×750 | 1,050×750
×750 |
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| 产品重量（公斤） | 180 | 200 | 200 | 230 |
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| 允许装载重量（kg） | 200 |
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| 隔振方法 | 空气弹簧 |
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| 固有频率（赫兹） | 垂直和水平2.0至3.0 |
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| 调平 | 采用机械阀自动调平方式：供给压力0.4Mpa |
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| 浮子部分 | SUS304抛光处理 |
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| 选项 | 抗震固定支架、下层架 |
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| 其他的 | 可在洁净室内使用（具有中央排风系统和防静电接地功能）
符合RoHS指令 |
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台式隔振工作台SRD/SVD
测量显微镜/粗糙度仪等整齐安装
SVDA（带翼、侧
桌（ED）、显示器支架、
鼠标/键盘支架）
| 模型 | SRDA | SVDA | SRDC | SVDC | SRDR |
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隔振台外形尺寸
（W×D×Hmm） | 590×720
×715 | 770×720
×715 | 590×720
×715 | 770×720
×715 | 590×720
×715 |
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| 产品重量（公斤） | 70 | 105 | 70 | 105 | 70 |
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| 允许装载重量（kg） | 120 | 200 | 120 | 200 | 45 |
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| 隔振方法 | 空气弹簧 | 特殊橡胶弹簧垫 |
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| 固有频率（赫兹） | 垂直和水平2.0至3.0 | 垂直和水平8.0至12.0 |
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| 调平 | 采用机械阀自动调平方式：供给压力0.4Mpa | 手泵补水手动调节 | 特殊橡胶弹簧垫 |
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| 浮子部分 | SPCC（三聚氰胺树脂涂层） |
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| 选项 | 侧翼、侧桌（ED）、显示器支架、鼠标/键盘支架 |
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关于台式隔振台的使用：如果安装设备的重心超过短支撑尺寸高度的1/2，请联系我们。
